JKZC-P11.Z一維Z向小體積壓電

納米定位臺(tái) 100μm-300μm

產(chǎn)品介紹

JKZC-P11系列小體積壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電平移臺(tái)，P11.Z為一維小體積壓電納米定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電定位臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 易于集成。

產(chǎn)品特點(diǎn)

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快

JKZC-P11系列納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，可以實(shí)現(xiàn)1~3維100μm的精密運(yùn)動(dòng)。
    該系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本， 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對(duì)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時(shí)對(duì)位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位控制。

產(chǎn)品應(yīng)用

1、 光纖定位/光學(xué)掃描            2、 納米壓印        3、 納米計(jì)量

4、 微操控            5、 納米定位        6、干涉法/ 掃描顯微/納米定位

7、 生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù)        8、質(zhì)量保證測(cè)試      9、微加工/精密控制

JKZC-P11全系列產(chǎn)品

技術(shù)參數(shù)

*若此工作頻率已接近或超過(guò)諧振頻率，建議在小于諧振頻率以下使用，若在此頻率下工作，輸入電壓要足夠小，請(qǐng)從小信號(hào)逐漸調(diào)試。開(kāi)環(huán)使用時(shí)可達(dá)到的工作頻率大于此頻率。 

** 可定制低溫版本及高真空版本。 

***連接器可定制。 

注：以上所提參數(shù)與測(cè)試環(huán)境、測(cè)試設(shè)備有關(guān)。

尺寸圖