運動自由度

X

X

驅動控制

1路驅動，1路傳感

2路驅動

標稱行程范圍（0 ~120 V）

±130

±130

µm±10%

Max.行程范圍（0~150V）

±165

±165

µm±10%

傳感器類型

SGS

-

分辨率

9

0.3

nm

線性度

0.1

-

%F.S.

重復定位精度

0.04

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

＜10

＜10

μrad

推/拉力

300/30

300/30

N

運動方向剛度

1.2

1.2

N/μm±20%

空載諧頻

490

490

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

80

40

ms±20%

承載能力

水平安裝

1

1

kg

立式安裝

0.5

0.5

倒置安裝

1

1

靜電容量

24.6

24.6

μF±10%

工作溫度

-40~+80

-40~+80

℃

抗振設計

半正弦

15g， 11ms

15g， 11ms

后峰鋸齒波

20g， 11ms

20g， 11ms

材質

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

950

950

g±5%

釋義

 將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。

PS：參數(shù)表中承載能力默認方向

 將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行

PS：存在多種立式安裝方式，技術參數(shù)對應承載

將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方

示意圖

備注

當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口