JKZC-11.X200 P11.Z200 小體積壓電納米定位臺
產(chǎn)品介紹
JKZC-11.X/Z200 系列小體積壓電納米定位臺是一維運動壓電平臺，它的行程范圍可達200μm，運動方向可選X向或Z向?？蛇x配閉環(huán)反饋傳感器，獲取更高精度。可定制低溫真空版本。
產(chǎn)品特點
1、一維 X 向或Z向運動 2、行程達 200μm 3、承載力達0.5kg 4、分辨率10nm
技術參數(shù)
編號 | JKZC-11.X200S | JKZC-11.X200K | JKZC-11.Z200S | JKZC-11.Z200K | 單位 | |
運動自由度 | X | X | Z | Z | ||
驅動控制 | 1路驅動，1路傳感 | 1路驅動 | 1路驅動，1路傳感 | 1路驅動 | ||
標稱行程范圍（0~120V） | 160 | 160 | 160 | 160 | μm±20% | |
Max.行程范圍（0~150V） | 200 | 200 | 200 | 200 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - | SGS | - | ||
分辨率 | 5.5 | 0.2 | 5.5 | 0.2 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.05 | - | 0.15 | - | %F.S. | |
重復定位精度 | 0.02 | - | 0.06 | - | %F.S. | |
俯仰 / 偏航 / 滾動 | ＜20 | ＜20 | ＜10 | ＜10 | μrad | |
推 / 拉力 | - | - | 70/6 | 70/6 | N | |
真空環(huán)境 | 10^-4 | 10^-4 | - | - | Pa | |
運動方向剛度 | - | - | 0.45 | 0.45 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 0.3 | 0.3 | 0.18 | 0.18 | kHz±20% | |
閉 / 開環(huán)空載階躍時間 | 20 | 0.8 | 10 | 0.8 | ms±20% | |
承載能力 | 水平安裝 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | kg |
立式安裝 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | kg | |
倒置安裝 | 0.5 | 0.5 | 0.03 | 0.03 | kg | |
靜電容量 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | μF±20% | |
材質 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | ||
重量 | - | - | 170 | 170 | g±5% | |
位移與電壓曲線 | - | - |
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諧振頻率與負載曲線 | - | - |
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線性度曲線 | - | - |
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安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認方向
| 將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數(shù)對應低承載
| 將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 | ||
尺寸圖
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