華兆科技(廣州)有限公司
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更新時(shí)間:2026-09-20 08:47:18瀏覽次數(shù):176次
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Oven設(shè)備是目前TFT產(chǎn)線耗電量較大的設(shè)備,Oven設(shè)備熱排管道排出的是230℃的高溫有機(jī)廢氣(光刻膠升華物),大量的熱能被浪費(fèi)掉。在排氣管路上安裝熱能回收的TRU Series熱回收系統(tǒng)可達(dá)到節(jié)能效果,同時(shí)也可實(shí)現(xiàn)客戶端運(yùn)營(yíng)成本的下降。
設(shè)備特點(diǎn)
•結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,技術(shù)成熟,動(dòng)態(tài)品質(zhì)良好
設(shè)備采用適配 Oven 排氣管路的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),無(wú)需對(duì)原有 Oven 系統(tǒng)進(jìn)行大規(guī)模改造即可安裝,兼容性強(qiáng);技術(shù)方案經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期工業(yè)場(chǎng)景驗(yàn)證,運(yùn)行穩(wěn)定性有保障,可適應(yīng) TFT 產(chǎn)線 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)的工況;良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì)體現(xiàn)在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中,即使面對(duì) Oven 排氣量、溫度的小幅波動(dòng),仍能保持穩(wěn)定的熱能回收效率,不會(huì)出現(xiàn)頻繁啟?;蛐阅懿▌?dòng)的情況,確保對(duì) Oven 工藝無(wú)干擾。
•壓差變化小,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定
設(shè)備在回收熱能過(guò)程中,對(duì)排氣管路的壓差影響極小 —— 壓差變化控制在合理范圍,不會(huì)因 TRU 的接入導(dǎo)致 Oven 內(nèi)部氣體流動(dòng)失衡。Oven 工藝對(duì)內(nèi)部氣體平衡要求嚴(yán)苛(氣體平衡直接影響溫度分布、廢氣排出效率),微小的壓差波動(dòng)都可能干擾工藝穩(wěn)定性,而 TRU 設(shè)備的低壓差變化設(shè)計(jì),能有效保障 Oven 原有工藝不受影響,確保 TFT 產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。
•風(fēng)量處理能力可按需調(diào)節(jié)
設(shè)備的風(fēng)量處理能力支持根據(jù)客戶實(shí)際需求設(shè)定與調(diào)整:不同 TFT 產(chǎn)線的 Oven 設(shè)備規(guī)格、產(chǎn)能不同,對(duì)應(yīng)的廢氣排放量也存在差異(如高產(chǎn)能產(chǎn)線的 Oven 排氣量更大),TRU 設(shè)備可通過(guò)調(diào)節(jié)內(nèi)部風(fēng)量處理組件,適配不同 Oven 的排氣量,確保在各類產(chǎn)能場(chǎng)景下,都能高效回收廢氣中的熱能,避免因風(fēng)量不匹配導(dǎo)致的回收效率下降或系統(tǒng)負(fù)•荷過(guò)高問(wèn)題。
•有效降低 Oven 耗電量,節(jié)電效率可觀
設(shè)備的核心價(jià)值在于節(jié)能降耗 —— 通過(guò)回收 Oven 排出廢氣中的熱能,減少 Oven 設(shè)備加熱時(shí)的能源消耗,經(jīng)實(shí)際應(yīng)用驗(yàn)證,其節(jié)電效率可達(dá) 65% 以上。以 TFT 產(chǎn)線常用的多臺(tái) Oven 配置為例,長(zhǎng)期運(yùn)行下來(lái),TRU 設(shè)備能顯著降低整體電費(fèi)支出,幫助客戶在設(shè)備投入后較快收回成本,同時(shí)減少能源浪費(fèi),符合綠色生產(chǎn)理念。
產(chǎn)品應(yīng)用
•壓差變化值:0~20Pa
該參數(shù)表示 TRU 設(shè)備運(yùn)行時(shí),排氣管路內(nèi)的壓差波動(dòng)范圍控制在 0 至 20Pa 之間。這一微小的壓差變化對(duì) Oven 內(nèi)部氣體環(huán)境幾乎無(wú)影響,可確保 Oven 在接入 TRU 后,仍能維持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)與氣流場(chǎng),避免因壓差波動(dòng)導(dǎo)致的工藝參數(shù)偏移,保障 TFT 面板的烘烤質(zhì)量。
•排熱量壓力損耗:不影響烘爐內(nèi)部的氣體平衡
TRU 設(shè)備在回收熱能過(guò)程中,產(chǎn)生的排熱量壓力損耗極低,不會(huì)打破 Oven 內(nèi)部的氣體平衡。Oven 的烘烤工藝依賴穩(wěn)定的氣體流動(dòng)(如熱空氣循環(huán)、廢氣及時(shí)排出),若壓力損耗過(guò)大,會(huì)導(dǎo)致 Oven 內(nèi)部氣流速度、壓力分布異常,進(jìn)而影響面板的烘烤效果(如局部烘烤過(guò)度或不足),而該設(shè)計(jì)可規(guī)避此類風(fēng)險(xiǎn)。
•節(jié)電量:≥45±5KWH(2 Sets)
當(dāng)同時(shí)配置兩臺(tái) TRU 設(shè)備時(shí),每單位時(shí)間的節(jié)電量范圍為 40~50KWH(即≥45±5KWH)。這一節(jié)電量水平在工業(yè)生產(chǎn)中具有顯著的成本控制意義 —— 按 TFT 產(chǎn)線全年連續(xù)生產(chǎn)計(jì)算,兩臺(tái) TRU 設(shè)備每年可節(jié)省大量電能消耗,直接降低客戶端的運(yùn)營(yíng)成本,同時(shí)減少能源消耗帶來(lái)的環(huán)境影響。
•適用領(lǐng)域:平板顯示、發(fā)電等領(lǐng)域的廢熱氣回收及再利用
平板顯示領(lǐng)域:主要用于 TFT 產(chǎn)線 Oven 設(shè)備的高溫有機(jī)廢氣熱能回收,解決 Oven 高耗電問(wèn)題,助力平板顯示產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)節(jié)能生產(chǎn);
發(fā)電領(lǐng)域:可回收發(fā)電過(guò)程中(如火力發(fā)電、新能源發(fā)電)產(chǎn)生的廢熱氣(如鍋爐排氣、汽輪機(jī)排氣),將回收的熱能用于預(yù)熱燃料、加熱循環(huán)水等環(huán)節(jié),提升發(fā)電系統(tǒng)的能源利用效率,實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)利用。
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