詳細(xì)摘要: THEORIS A302 12英寸立式低溫退火爐在中低溫條件下,通入N?、H?或D?等氣體,以消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷,優(yōu)化硅片界面質(zhì)量,提...
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詳細(xì)摘要: THEORIS A302 12英寸立式低溫退火爐在中低溫條件下,通入N?、H?或D?等氣體,以消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷,優(yōu)化硅片界面質(zhì)量,提...
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