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XY軸 PK2L70-080U XY軸二維平移壓電掃描臺-電子/半導體檢測儀器

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  • 型號XY軸PK2L70-080U
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2025-11-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值55235
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上海納動納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。        上海納動納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內(nèi)*,打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運動和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅實基礎(chǔ)。        上海納動納米位移技術(shù)有限公司在納米定位及運動控制技術(shù)方面擁有近十余年的產(chǎn)品研發(fā)技術(shù)經(jīng)驗團隊組成,并具有*的自主知識產(chǎn)權(quán)。產(chǎn)品涵蓋疊堆壓電陶瓷、機械封裝型壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電納米掃描臺、壓電平移臺、壓電偏擺臺、壓電Tip/Tilt平臺、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電旋轉(zhuǎn)臺、壓電升降臺、壓電顯微鏡樣品掃描臺、壓電物鏡聚焦定位器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、機床微進給壓電平臺、多自由度并聯(lián)機構(gòu)、壓電微調(diào)千分尺、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。        上海納動納米位移技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛適用于光學、光電子、生物設(shè)備、精密加工制造、航空技術(shù)、圖像處理、顯微鏡、半導體、自動對焦裝置等,并服務于國內(nèi)各高校、研究所及科研等領(lǐng)域從事前沿科學研究,產(chǎn)品得到用戶的*好評。我們基于現(xiàn)代科學技術(shù)發(fā)展和使用可靠的制造技術(shù),使我們能夠創(chuàng)造*的產(chǎn)品,以滿足客戶的需求。

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制是
XY軸二維平移壓電掃描臺為二維XY軸壓電掃描臺,運動范圍為100μm/軸,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,中心大透光孔,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性鉸鏈導向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品可實現(xiàn)納米級的分辨率,毫秒級的響應時間。
XY軸二維平移壓電掃描臺-電子/半導體檢測儀器 產(chǎn)品詳情

   XY軸二維平移壓電掃描臺為二維XY軸壓電掃描臺,運動范圍為100μm/軸,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,中心大透光孔,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性鉸鏈導向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品可實現(xiàn)納米級的分辨率,毫秒級的響應時間。

XY軸二維平移壓電掃描臺特點:
◆ 超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
◆ 超大的行程;
◆ 采用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向系統(tǒng),具有超高的導向精度;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。

產(chǎn)品應用:

原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對接  納米光刻

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號

PK2L135-005U

PK2L135-005U-S

公差

運動自由度

X、Y

X、Y

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

標稱行程范圍(@0~+120V)

5 μm/軸

5 μm/軸

±20%

行程范圍(@-20~+150V)

8 μm/軸

8 μm/軸

±20%

分辨率

0.2 nm

0.5 nm

typ.

重復定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

線性度

-

0.1% F.S.

typ.

承載能力

30 N

30 N

Max.

剛度

0.5 N/μm

0.5 N/μm

±20%

諧振頻率

0g

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

±20%

靜電容量

0.6 μF/軸

0.6 μF/軸

±20%

工作溫度范圍

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驅(qū)動電壓范圍(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

線纜長度

1.5 m/軸

1.5 m/軸

±10mm

外形尺寸(LxH)

138×138×17 mm

138×138×17 mm

-

重量

500 g

500 g

±5%

本體材質(zhì)2

鋁(B)

鋁(B)

-

關(guān)鍵詞:位移傳感器 顯微鏡
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