XY軸二維平移壓電掃描臺為二維XY軸壓電掃描臺,運動范圍為100μm/軸,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,中心大透光孔,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性鉸鏈導向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品可實現(xiàn)納米級的分辨率,毫秒級的響應時間。
XY軸二維平移壓電掃描臺特點:
◆ 超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
◆ 超大的行程;
◆ 采用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向系統(tǒng),具有超高的導向精度;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
產(chǎn)品應用:
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對接 納米光刻
技術(shù)參數(shù):
| 產(chǎn)品型號 | PK2L135-005U | PK2L135-005U-S | 公差 | | 運動自由度 | X、Y | X、Y | - | | 傳感器類型 | - | Strain Gage | - | | 標稱行程范圍(@0~+120V) | 5 μm/軸 | 5 μm/軸 | ±20% | | 行程范圍(@-20~+150V) | 8 μm/軸 | 8 μm/軸 | ±20% | | 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm | typ. | | 重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | | 線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | | 承載能力 | 30 N | 30 N | Max. | | 剛度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | | 諧振頻率 | 0g | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | ±20% | | 靜電容量 | 0.6 μF/軸 | 0.6 μF/軸 | ±20% | | 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | | 驅(qū)動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | | 線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | | 外形尺寸(LxH) | 138×138×17 mm | 138×138×17 mm | - | | 重量 | 500 g | 500 g | ±5% | | 本體材質(zhì)2 | 鋁(B) | 鋁(B) | - | |