精密壓電掃描臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)壓電顯微掃描臺(tái),壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),壓電掃描臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。
精密壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用:
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對(duì)接 納米光刻
特點(diǎn):
◆ 超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
◆ 超大的行程;
◆ 采用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),具有超高的導(dǎo)向精度;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
技術(shù)參數(shù):
| 產(chǎn)品型號(hào) | PK2L135-005U | PK2L135-005U-S | 公差 | | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y | X、Y | - | | 傳感器類型 | - | Strain Gage | - | | 標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 5 μm/軸 | 5 μm/軸 | ±20% | | 行程范圍(@-20~+150V) | 8 μm/軸 | 8 μm/軸 | ±20% | | 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm | typ. | | 重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | | 線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | | 承載能力 | 30 N | 30 N | Max. | | 剛度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | | 諧振頻率 | 0g | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | ±20% | | 靜電容量 | 0.6 μF/軸 | 0.6 μF/軸 | ±20% | | 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | | 驅(qū)動(dòng)電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | | 線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | | 外形尺寸(LxH) | 138×138×17 mm | 138×138×17 mm | - | | 重量 | 500 g | 500 g | ±5% | | 本體材質(zhì)2 | 鋁(B) | 鋁(B) | - | |