激光干涉儀的發(fā)展：

 

    一般來說，只要是利用光干涉的原理來測(cè)量的儀器都可以稱為干涉儀。光干涉測(cè)量可以追溯到17世紀(jì)下半葉，那時(shí)的牛頓環(huán)干涉測(cè)量就是zui早的干涉儀。但是直到19世紀(jì)波動(dòng)理論被廣泛接受以后，干涉測(cè)量技術(shù)才得到真正發(fā)展。1883年，物理學(xué)家邁克爾遜與莫雷合作設(shè)計(jì)制造了*臺(tái)用于精密測(cè)量的干涉儀——邁克爾遜干涉儀。

 

    1896年，瑞利為測(cè)量氬和氦的折射率，用咭氏雙縫干涉原理設(shè)計(jì)制作了瑞利干涉儀。在干涉測(cè)量中，被測(cè)信息是以光學(xué)條紋的形式表征的，相干光光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，干涉儀是以光波波長為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。

 

    20世紀(jì)中期，激光器的發(fā)明和微電子技術(shù)的發(fā)展為干涉測(cè)量技術(shù)提供了新的物質(zhì)基礎(chǔ)，使其進(jìn)人一個(gè)新的發(fā)展時(shí)期。激光的高度相干性使它一經(jīng)發(fā)明就成為光波干涉儀的光源，經(jīng)過多年的發(fā)展，激光干涉儀已經(jīng)走出實(shí)驗(yàn)室，成為可以在生產(chǎn)車間使用的測(cè)量檢定標(biāo)準(zhǔn)。常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀、斐索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等；20世紀(jì)70年代以后，具有良好抗環(huán)境干擾能力的外差干涉儀，如雙頻干涉儀、光纖干涉儀也很快發(fā)展起來了。