雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種基于外差技術(shù)的高精度測(cè)量?jī)x器，它克服了單頻激光干涉儀易受環(huán)境影響的弱點(diǎn)，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。

 

    由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定，既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

 

    單頻干涉儀最根本弱點(diǎn)是搞干擾能力弱，空氣湍流、機(jī)床的油霧、切屑的干擾都會(huì)引起干涉信號(hào)變化從而影響測(cè)量精度，在測(cè)試環(huán)境惡劣，測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一個(gè)直流測(cè)試系統(tǒng)必然具有直流光平和電平零漂弊端，這種無(wú)規(guī)律的變化很難通過(guò)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)整來(lái)補(bǔ)償，限制了單頻激光干涉儀在高精密測(cè)量領(lǐng)域的應(yīng)用。

 

    而雙頻激光干涉儀是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，雙頻干涉儀的干擾能力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在精度要求極高的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。如2017年人類(lèi)首次直接探測(cè)到來(lái)自雙中子合并的引力波就是使用的雙頻激光干涉儀。