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激光干涉儀的服務(wù)參數(shù)

2020-11-25標簽:激光干涉儀

    激光干涉儀為坐標測量機(CMM)和機床等運動系統(tǒng)提高性能測量和校準。XL-80系統(tǒng)快速、準確,而且體積小巧,非常輕便,精確穩(wěn)定的激光源和準確的環(huán)境補償,保證了±0.5ppm的線性測量精度。
 
    服務(wù)參數(shù):
 
    系統(tǒng)精度:±0.5ppm(0~40℃整個工作環(huán)境范圍)
 
    激光穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
 
    分辨率:0.001um
 
    zei大測量速度:4.0m/sec
 
    zei高采樣頻率:50KHz
 
    測量范圍:0-80metres
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