氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性，在應(yīng)用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

 

    氦分子在氦質(zhì)譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無毒、無危險，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質(zhì)譜檢漏儀(調(diào)整到僅對氦起反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質(zhì)譜檢漏儀立即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在位置及檢測到漏氣量大小。

 

    泄漏程度的量化

 

    泄漏和密封是相對而言的，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示，其計算方法原理如下：

 

    容器泄漏程度的量化，用泄漏率來表示。漏率的定義

 

    其中：

 

    △P為壓強的變化量

 

    V為容器的體積

 

    △t為時間的變化量

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀因此漏率可簡單理解為：單位時間內(nèi)，單位體積容器，壓強的變化。