氦質譜檢漏儀設備內芯制造借鑒國外先進技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款全自動氦質譜檢漏儀。

 

    氦質譜檢漏儀的優(yōu)勢特點：

 

    1.采用便攜式設計2.設備外型美觀小巧3.采用液晶觸摸屏設計4.有通訊接口5.可以方便地將檢漏數據輸出氦質譜檢漏儀的使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃相對濕度：<80%供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz最大工作電流：10A

 

    氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。

 

    在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由抑制柵、收集極及高阻組成收集器;第一級放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。質譜室的工作原理如圖3所示。

 

    在離化室N內，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉半徑可按式(5)計算。

 

    可見質譜檢漏儀，當B和U為定值時，不同質荷比me-1的離子束的偏轉半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調節(jié)加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)2]恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來;而不同于氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。(me-1)2=4，即He+的質荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。