氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀利用磁偏轉(zhuǎn)原理制成的、對示漏氣體氦反應(yīng)靈敏的、用于檢漏的質(zhì)譜儀。

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦起反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

 

    為什么要檢漏？

 

    很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設(shè)備(真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等)，要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

 

    這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏檢查。

 

    漏氣體的選擇及特性分析

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮：

 

    (1)無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

 

    (2)質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

 

    (3)化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學反應(yīng)和易燃易爆;

 

    (4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。