INFICON,瑞士INFICON,INFICON氣體分析,INFICONTranspector APX 多壓力,INFICON泄漏檢測(cè)器,INFICONLDS3000,INFICON制冷劑回收機(jī),INFICONVortexDual,INFICON射頻傳感技術(shù),INFICONSion 電弧檢測(cè)器,INFICON真空計(jì)和控制器,INFICONTPG36x,INFICON真空元件,INFICON帶翼形螺母的夾緊環(huán)、INFICON皮拉尼真空計(jì)、INFICON電容薄膜真空計(jì)、INFICON熱電離真空計(jì)、INFICON氦氣檢漏儀、INFICON冷媒檢漏儀、INFICON檢漏儀、INFICON殘余氣體分析儀、INFICON便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀、INFICON微型氣相色譜儀、

INFICON膜厚控制設(shè)備、INFICON真空控制器、INFICON氦吸槍檢漏儀、INFICON雙技術(shù)復(fù)合真空計(jì)、INFICON電池專用檢漏儀、INFICON便攜式氣體分析儀、INFICON薄膜沉積控制器、INFICON石英晶體微天平、INFICON真空測(cè)量傳感器、INFICON工業(yè)氣體分析儀、INFICON真空系統(tǒng)控制軟件、INFICON冷陰潘寧真空規(guī)、INFICON反磁控皮拉尼真空計(jì)、INFICON熱陰離子真空規(guī)、INFICON真空計(jì)控制器、INFICON真空計(jì)顯示器、INFICON增強(qiáng)皮拉尼真空計(jì)、INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀、INFICON本土化便攜式檢漏儀、INFICON TFC膜厚控制系列、INFICON HLD6000高精度冷媒檢漏儀、INFICON Proteus LIMS實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)、INFICON冷陰電離真空規(guī)、INFICON真空儀表、INFICON B-A型皮拉尼真空計(jì)、

INFICON真空測(cè)量探頭、INFICON工業(yè)級(jí)氦氣檢漏系統(tǒng)、INFICON定制化氣體檢測(cè)算法軟件、INFICON本土供應(yīng)鏈配套真空配件、INFICON OLED面板鍍膜監(jiān)測(cè)設(shè)備、INFICON鈣鈦礦光伏工藝控制儀器

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INFICON公司介紹：

INFICON總部位于瑞士巴特拉格斯，品牌溯源可至1964年，集團(tuán)正式整合成立于2000年6月，成立至今已推出超100款創(chuàng)新產(chǎn)品，是精密分析、測(cè)量與控制儀器供應(yīng)商。

INFICON集團(tuán)核心產(chǎn)品線覆蓋精密儀器儀表、關(guān)鍵傳感器技術(shù)、工業(yè)4.0制程控制軟件三大方向，代表產(chǎn)品包括氦氣檢漏儀、Proteus LIMS系統(tǒng)、XTC900鍍膜控制設(shè)備、高精度真空計(jì)、有毒化工原料分析儀等。

INFICON產(chǎn)品覆蓋多個(gè)高要求行業(yè)：空調(diào)制冷、汽車制造領(lǐng)域的氣體泄漏檢測(cè)、半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、光學(xué)器件的真空鍍膜制程管控、泛真空技術(shù)延伸至生命科學(xué)、航空航天、食品包裝、熱處理、激光切割等領(lǐng)域、應(yīng)急安保、環(huán)境監(jiān)測(cè)場(chǎng)景下的有毒有害化工物質(zhì)快速分析。

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INFICON產(chǎn)品類型：

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀，質(zhì)量位置穩(wěn)定性在24小時(shí)內(nèi)小于0.1amu，法拉第杯模式下靈敏度可達(dá)24E-7amps/Torr，最小可檢測(cè)分壓在法拉第杯模式下為1E-9Torr，電子倍增器模式下可低至6E-12Torr，兩種模式下的最大工作壓力均為20mTorr，線性操作區(qū)間的最大工作壓力為10mTorr。設(shè)備支持全譜段氣體成分實(shí)時(shí)分析，適配半導(dǎo)體真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)室的痕量氣體檢測(cè)場(chǎng)景，整機(jī)防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP40，可在工業(yè)車間的常規(guī)電磁干擾環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，連續(xù)工作時(shí)長(zhǎng)可達(dá)50000小時(shí)以上。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000

Transpector MXP殘余氣體分析儀，質(zhì)量數(shù)覆蓋范圍為1amu至200amu，掃描速度最高可達(dá)1000amu/s，電子倍增器增益調(diào)節(jié)范圍為10^3至10^7，基線噪聲水平低于0.01cps，支持多通道同步數(shù)據(jù)采集與存儲(chǔ)，內(nèi)置100余種常見工業(yè)氣體的特征譜庫(kù)，可自動(dòng)完成氣體成分識(shí)別與濃度換算。設(shè)備適配高潔凈度的半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)線，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空腔體內(nèi)的雜質(zhì)氣體含量，幫助產(chǎn)線將鍍膜良率提升3%至5%，整機(jī)支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通信協(xié)議，可直接接入工廠的MES系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)上傳。

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真空測(cè)量?jī)x器系列

BPG400 DN25KF 354-490真空計(jì)，測(cè)量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至大氣壓，在10^-8至10^-2 mbar的壓力區(qū)間內(nèi)測(cè)量重復(fù)性可達(dá)±5%，采用DN25 ISO-KF法蘭連接，可選配RS485、RS232、EtherCAT數(shù)字通信接口。設(shè)備融合了貝阿德-阿爾珀特真空計(jì)與皮拉尼真空計(jì)的雙重功能，內(nèi)置長(zhǎng)壽命氧化釔銥絲，搭載皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)機(jī)制，符合ROHS環(huán)保規(guī)范，整機(jī)體積緊湊，安裝占用空間僅為傳統(tǒng)分體式真空計(jì)的60%，可廣泛適配從低真空到超高真空的各類工業(yè)真空?qǐng)鼍啊?/p>

CDG025D電容薄膜真空計(jì)，測(cè)量量程分為0.1mbar、1mbar、10mbar、100mbar、1000mbar五個(gè)檔位，全量程內(nèi)測(cè)量精度優(yōu)于±0.2%FS，溫度漂移系數(shù)低于0.01%FS/℃，工作環(huán)境溫度覆蓋-10℃至60℃，采用全金屬密封結(jié)構(gòu)，可耐受150℃的原位烘烤工藝。設(shè)備不受氣體種類影響，對(duì)腐蝕性特殊氣體也能保持穩(wěn)定測(cè)量精度，適配光伏電池制造、特種材料熱處理等對(duì)真空測(cè)量穩(wěn)定性要求場(chǎng)景，平均工作時(shí)長(zhǎng)超過80000小時(shí)。

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000氦氣檢漏儀，最小可檢測(cè)泄漏率低至1×10^-12 mbar·L/s，最大測(cè)試壓力可達(dá)1MPa，響應(yīng)時(shí)間小于1秒，內(nèi)置自動(dòng)校準(zhǔn)功能，支持本地觸控操作與遠(yuǎn)程上位機(jī)控制，整機(jī)移動(dòng)輪設(shè)計(jì)適配車間內(nèi)多工位流轉(zhuǎn)使用。設(shè)備搭載智能檢漏算法，可自動(dòng)排除環(huán)境背景氦氣的干擾，將誤報(bào)率降低至0.1%以下，適配汽車零部件、制冷壓縮機(jī)等工件的批量檢漏場(chǎng)景，單小時(shí)可完成超過120件工件的檢漏測(cè)試，大幅提升產(chǎn)線質(zhì)檢效率。

XL3000flex氦氣檢漏儀，支持真空模式與吸槍模式雙工況切換，真空模式下最小檢漏率為5×10^-13 mbar·L/s，吸槍模式下最小檢漏率為1×10^-7 mbar·L/s，內(nèi)置大容量氦氣存儲(chǔ)罐，單次充氦可連續(xù)工作超過8小時(shí)，設(shè)備配備可視化操作界面，可實(shí)時(shí)顯示泄漏位置與泄漏率數(shù)值，適配新能源汽車動(dòng)力電池、氫能源閥門等高壓部件的檢漏需求，整機(jī)防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP54，可在復(fù)雜的工業(yè)車間環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate制冷劑檢漏儀，可檢測(cè)所有常見CFC、HCFC、HFC、HFO類制冷劑，最小檢測(cè)靈敏度可達(dá)3g/年，電池續(xù)航時(shí)間連續(xù)工作超過10小時(shí)，預(yù)熱時(shí)間僅需2秒，內(nèi)置傳感器故障自診斷功能，傳感器壽命可達(dá)300小時(shí)以上。設(shè)備機(jī)身重量?jī)H為0.5kg，搭配柔性探桿可深入空調(diào)機(jī)組的狹小縫隙中完成檢漏，適配暖通空調(diào)售后維修、制冷設(shè)備生產(chǎn)線質(zhì)檢等場(chǎng)景，操作門檻極低，普通運(yùn)維人員經(jīng)過10分鐘培訓(xùn)即可熟練使用，是制冷行業(yè)應(yīng)用便攜檢漏設(shè)備之一。

D-TEK 3制冷劑檢漏儀，支持CO?等新型環(huán)保制冷劑的高精度檢測(cè)，最小檢測(cè)靈敏度可達(dá)1g/年，響應(yīng)時(shí)間小于0.5秒，內(nèi)置三色LED泄漏強(qiáng)度指示燈，搭配蜂鳴器隨泄漏量同步調(diào)整提示頻率，設(shè)備搭載可更換式傳感器模塊，無需返廠即可完成傳感器更換維護(hù)，整機(jī)符合全球主流地區(qū)的防爆安全標(biāo)準(zhǔn)，適配商用制冷系統(tǒng)、冷鏈物流設(shè)備的精密檢漏場(chǎng)景，可幫助運(yùn)維人員快速定位微小泄漏點(diǎn)，減少制冷劑損耗超過30%。

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電池電解液檢漏儀系列

LDS3000電解液檢漏儀，可檢測(cè)鋰離子電池內(nèi)部的微量電解液泄漏，最小可檢測(cè)泄漏率低至1×10^-9 mbar·L/s，測(cè)試節(jié)拍小于3秒，支持多工位并行檢測(cè)，內(nèi)置自動(dòng)上下料對(duì)接接口，可直接集成到鋰電池自動(dòng)化產(chǎn)線中。設(shè)備采用非接觸式檢測(cè)方案，不會(huì)對(duì)電池外殼造成任何損傷，檢測(cè)過程無污染無殘留，適配方形鋰電池、軟包鋰電池等各類動(dòng)力電池的密封性能檢測(cè)，檢測(cè)準(zhǔn)確率可達(dá)99.95%，大幅降低動(dòng)力電池的后期漏液故障風(fēng)險(xiǎn)。

HLD BR200電池專用檢漏儀，采用氦氣背壓法檢測(cè)工藝，可對(duì)密封后的電池完成全檢，最大可適配直徑100mm、高度200mm的各類電池工件，檢測(cè)壓力調(diào)節(jié)范圍為0.1MPa至0.8MPa，設(shè)備內(nèi)置泄漏數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，可自動(dòng)生成質(zhì)檢報(bào)表并上傳至產(chǎn)線數(shù)據(jù)庫(kù)，適配消費(fèi)類鋰電池、儲(chǔ)能電池的批量生產(chǎn)質(zhì)檢場(chǎng)景，設(shè)備的維護(hù)周期長(zhǎng)達(dá)12個(gè)月，大幅降低產(chǎn)線的運(yùn)維成本。

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鍍膜控制設(shè)備系列

XTC900鍍膜厚度控制器，厚度控制分辨率可達(dá)0.1?，沉積速率控制精度優(yōu)于±0.5%，支持最多8層不同鍍膜材料的程序編輯，內(nèi)置100余種常見鍍膜材料的參數(shù)庫(kù)，可實(shí)時(shí)顯示鍍膜厚度、沉積速率、剩余鍍膜時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)。設(shè)備適配光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓的真空鍍膜工藝，可將鍍膜厚度的一致性提升至±1%以內(nèi)，大幅提升光學(xué)器件的生產(chǎn)良率，整機(jī)支持工業(yè)以太網(wǎng)通信，可直接接入真空鍍膜機(jī)的控制系統(tǒng)完成閉環(huán)控制。

SQC310鍍膜控制器，最多支持3個(gè)獨(dú)立石英晶振傳感器切換工作，傳感器使用壽命延長(zhǎng)3倍以上，厚度測(cè)量范圍覆蓋1?至9999μm，適配金屬膜、介質(zhì)膜、化合物膜等各類鍍膜場(chǎng)景，設(shè)備機(jī)身采用緊湊型設(shè)計(jì)，可直接安裝在鍍膜機(jī)的控制柜內(nèi)部，適配中小型鍍膜設(shè)備的升級(jí)改造需求，操作界面簡(jiǎn)潔直觀，工藝人員可快速完成鍍膜程序的編寫與調(diào)試。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000

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MEMS皮拉尼真空計(jì)系列

PPG550皮拉尼真空計(jì)，基于先進(jìn)MEMS微機(jī)電傳感器技術(shù)，測(cè)量范圍覆蓋1×10^-6 mbar至1333 mbar，全量程內(nèi)測(cè)量重復(fù)性優(yōu)于±8%，支持8-pin工業(yè)接口輸出，適配物理氣相沉積、質(zhì)譜儀前端壓力監(jiān)測(cè)、真空腔體氣體回填等場(chǎng)景。設(shè)備無傳統(tǒng)皮拉尼傳感器的熱絲損耗問題，抗污染能力大幅提升，可在含微量工藝粉塵的工業(yè)真空環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作，整機(jī)防護(hù)等級(jí)IP40，適配各類工業(yè)真空設(shè)備的集成安裝需求，平均工作時(shí)長(zhǎng)可達(dá)60000小時(shí)以上。

PPG570高精度MEMS真空計(jì)，測(cè)量范圍擴(kuò)展至5×10^-7 mbar至2000 mbar，在10^-3 mbar至1000 mbar區(qū)間內(nèi)測(cè)量精度優(yōu)于±3%，搭載EtherCAT實(shí)時(shí)工業(yè)通信接口，數(shù)據(jù)刷新頻率可達(dá)1kHz，支持多設(shè)備同步組網(wǎng)測(cè)量。設(shè)備內(nèi)置溫度自動(dòng)補(bǔ)償模塊，在-20℃至70℃的寬溫環(huán)境下漂移量低于0.02%FS/℃，適配半導(dǎo)體先進(jìn)制程、特種材料真空燒結(jié)等對(duì)壓力測(cè)量響應(yīng)速度要求場(chǎng)景，可直接接入產(chǎn)線的實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)完成閉環(huán)調(diào)節(jié)。

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雙技術(shù)真空計(jì)系列

BPG552熱電離真空計(jì)，融合Bayard-Alpert熱電離傳感器與經(jīng)典皮拉尼傳感器，測(cè)量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至1000 mbar，雙燈絲設(shè)計(jì)大幅延長(zhǎng)傳感器使用壽命，測(cè)量重復(fù)性在全量程內(nèi)優(yōu)于±6%。設(shè)備支持模擬量輸出、RS232C串行接口與EtherCAT通信，可與INFICON VGC50x系列控制器直接配套使用，向后兼容前代BPG402型號(hào)，符合ROHS環(huán)保規(guī)范，適配半導(dǎo)體工藝壓力監(jiān)測(cè)、工業(yè)鍍膜產(chǎn)線全區(qū)間真空測(cè)量等場(chǎng)景，支持付費(fèi)延長(zhǎng)保修期服務(wù)。

BPG562超高真空雙技術(shù)真空計(jì)，測(cè)量下限延伸至2×10^-11 mbar，熱電離傳感器的靈敏度提升40%，內(nèi)置自動(dòng)除氣功能，可在不拆機(jī)的情況下完成傳感器腔體清潔，避免工藝殘留雜質(zhì)影響測(cè)量精度。設(shè)備支持150℃原位烘烤，適配超高真空科研實(shí)驗(yàn)、航天部件真空模擬測(cè)試等場(chǎng)景，整機(jī)采用全金屬密封法蘭連接，漏率低于1×10^-11 mbar·L/s，杜絕外部氣體滲入影響真空環(huán)境。

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便攜式氣體分析儀系列

Hapsite ER便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀，質(zhì)量數(shù)覆蓋范圍為1amu至500amu，檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)別，單次樣品分析周期小于3分鐘，內(nèi)置可充電鋰電池，連續(xù)戶外工作時(shí)長(zhǎng)超過8小時(shí)。設(shè)備搭載內(nèi)置氣相色譜分離模塊，可在復(fù)雜混合氣體環(huán)境下精準(zhǔn)識(shí)別上百種有毒有害化工物質(zhì)，適配應(yīng)急安?，F(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)、環(huán)境空氣污染物溯源等場(chǎng)景，整機(jī)配備便攜防護(hù)箱，可承受戶外復(fù)雜路況下的顛簸沖擊。

MicroGC Fusion微型氣相色譜儀，搭載4路獨(dú)立分析通道，每通道分析周期小于1分鐘，總重量?jī)H2.8kg，內(nèi)置氫氣發(fā)生器無需外接載氣氣源。設(shè)備可同時(shí)完成多組分氣體的并行快速分析，適配石油化工現(xiàn)場(chǎng)氣體組分檢測(cè)、半導(dǎo)體特氣純度校驗(yàn)等場(chǎng)景，分析結(jié)果的相對(duì)偏差小于2%，支持藍(lán)牙無線數(shù)據(jù)傳輸，可直接將檢測(cè)結(jié)果同步至移動(dòng)終端完成數(shù)據(jù)歸檔。

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模塊化真空控制器系列

VGC501單通道真空控制器，最多可接入1臺(tái)真空計(jì)設(shè)備，支持3.5英寸觸控顯示屏實(shí)時(shí)顯示壓力數(shù)值，內(nèi)置10組自定義壓力閾值繼電器輸出，可直接聯(lián)動(dòng)真空系統(tǒng)的泵組、閥門完成自動(dòng)啟停控制。設(shè)備支持多語(yǔ)言操作界面，適配不同地區(qū)的產(chǎn)線操作人員使用，適配中小型真空爐、實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備的自動(dòng)化控制場(chǎng)景，安裝方式支持標(biāo)準(zhǔn)DIN導(dǎo)軌安裝，占用控制柜空間僅為傳統(tǒng)控制器的50%。

VGC503三通道真空控制器，最多可同時(shí)接入3臺(tái)不同類型的真空計(jì)，支持多區(qū)間壓力聯(lián)動(dòng)邏輯編程，內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊可自動(dòng)保存長(zhǎng)達(dá)1年的壓力歷史數(shù)據(jù)。設(shè)備支持EtherNet/IP工業(yè)協(xié)議，可直接接入工廠MES系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)上傳與遠(yuǎn)程監(jiān)控，適配大型半導(dǎo)體鍍膜產(chǎn)線、多腔體真空系統(tǒng)的集中管控場(chǎng)景，大幅降低產(chǎn)線人工巡檢的工作量。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000

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Transpector APX 多壓力

實(shí)時(shí)較小化廢品并較大化產(chǎn)量

INFICON Transpector APX 仍然是半導(dǎo)體和顯示器工藝監(jiān)控領(lǐng)域市場(chǎng)殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 了解半導(dǎo)體和顯示器客戶有獨(dú)特的需求，較新版本的 Transpector APX 可提供更大的靈活性以滿足特定應(yīng)用要求，同時(shí)保持行業(yè)測(cè)量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)控器。

下一代 Transpector APX 多壓力進(jìn)樣口系統(tǒng)專為適應(yīng)容易產(chǎn)生顆?；蛲繉拥墓に嚮瘜W(xué)而設(shè)計(jì)，如 ALD 或 PECVD。這允許持續(xù)監(jiān)控以捕獲所有關(guān)鍵工藝步驟的數(shù)據(jù)點(diǎn)。此外，HexBlock 進(jìn)樣口配有 INFICON 專有涂層，可抵抗腐蝕性氣體，這對(duì)于腔室清潔端點(diǎn)監(jiān)控應(yīng)用至關(guān)重要。

優(yōu)點(diǎn)

特定應(yīng)用平臺(tái)設(shè)計(jì)可延長(zhǎng) ALD 或 CVD 工藝的使用壽命，從而實(shí)現(xiàn)較佳的晶圓和面板保護(hù)以及工藝優(yōu)化

ALD 測(cè)量速度超過每秒 550 個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

由于采用高性能泵送系統(tǒng)，工廠占地面積減少了 30%，并且安裝更加容易

可配置 HexBlock™，采用 INFICON 專有涂層，較多可配備三個(gè)壓力入口，可耐受嚴(yán)酷的腐蝕性化學(xué)物質(zhì)

自動(dòng)校準(zhǔn)可確保傳感器與傳感器之間以及工具與工具室匹配的長(zhǎng)期數(shù)據(jù)可靠性和準(zhǔn)確性

Transpector APX 與 FabGuard ®軟件集成并得到 INFICON 首級(jí)應(yīng)用專家的支持后，將成為過程監(jiān)控和診斷工具

耗材

969-800-G1S：APX CIS 鎢絲套件 金色

969-800-G2S：APX CIS 涂層燈絲套件 GOLD

969-801-G1S：APX CIS 鎢離子源套件 GOLD

969-801-G2S：APX CIS 鎢離子源套件（帶陽(yáng)極襯里）GOLD

969-801-G3S：APX CIS 涂層離子源套件 GOLD

969-801-G4S：APX CIS 涂層離子源套件（帶陽(yáng)極襯里）GOLD

961-707-G1：電子倍增器更換套件

923-418-G2：兩級(jí)泵更換隔膜套件

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泄漏檢測(cè)器

LDS3000

緊湊設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)較高性能

較高的精度和可重復(fù)性以及較短的循環(huán)時(shí)間使 LDS3000 成為真空泄漏檢測(cè)系統(tǒng)的選擇。它擁有緊湊性，確保無縫集成，安裝工作量和空間要求較小。使用各種現(xiàn)代現(xiàn)場(chǎng)總線系統(tǒng)增強(qiáng)您的設(shè)置，進(jìn)一步優(yōu)化您的操作。LDS3000也可用作LDS3000 AQ ，用于累積系統(tǒng)。LDS3000 產(chǎn)品系列是自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)較通用的解決方案。

INFICON 還為幾乎所有應(yīng)用提供各種校準(zhǔn)測(cè)試泄漏。為了簡(jiǎn)化和加快訂購(gòu)流程，請(qǐng)使用 訂購(gòu)表為測(cè)試系統(tǒng)定制校準(zhǔn)泄漏。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000

EcoBoost 功能：更快、更高效、更低成本

獨(dú)特的 EcoBoost 功能使 LDS3000 能夠檢測(cè)出較小的泄漏，即使在高且不斷降低的示蹤氣體背景水平下也是如此。由于出色的儀器質(zhì)量可實(shí)現(xiàn)極其精確、可重復(fù)和線性的測(cè)量，智能算法可以高精度地預(yù)測(cè)示蹤氣體背景的降低。

借助 EcoBoost，LDS3000 可以在測(cè)試周期的早期檢測(cè)到泄漏，并且不會(huì)錯(cuò)過小泄漏。EcoBoost 還可以使用更小、更節(jié)能的泵并減少氦氣消耗。

特征

緊湊的設(shè)計(jì)允許個(gè)性化、定制地集成到泄漏檢測(cè)系統(tǒng)中

通過多種模擬和數(shù)字接口實(shí)現(xiàn)通信多樣性

顯著改善布線

新的程序可以在 20 秒內(nèi)校準(zhǔn) LDS3000 泄漏檢測(cè)器。

優(yōu)點(diǎn)

緊湊設(shè)計(jì)，可快速輕松集成

可靠性能

市場(chǎng)上較高的精度和重復(fù)性

周期時(shí)間方面的市場(chǎng)：在不到 1 秒的時(shí)間內(nèi)快速檢測(cè)高達(dá) 1 x 10 -11 mbar l/s 的泄漏率

PROFIBUS 接口可簡(jiǎn)化連接和互操作性、遠(yuǎn)程訪問并提高數(shù)據(jù)傳輸效率。

數(shù)字接口，包括RS232、RS485、USB

多種模擬接口

停機(jī)時(shí)間較短，維護(hù)要求減少

校準(zhǔn)時(shí)間快，通常約為 20 秒

可選觸摸屏顯示

典型應(yīng)用

蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)

電池外殼

電池組托盤和蓋子

安全氣囊氣體發(fā)生器和點(diǎn)火器

閥門

剎車管路、燃油管路

液壓元件

內(nèi)燃機(jī)

規(guī)格

氦氣“ULTRA”模式的較小可檢測(cè)泄漏率:<1E-11 毫巴·升/秒

氦氣“FINE”模式的較小可檢測(cè)泄漏率:<5E-11 毫巴·升/秒

氦氣“GROSS”模式的較小可檢測(cè)泄漏率:<1E-9 毫巴·升/秒

氦氣“嗅探器”模式的較小可檢測(cè)泄漏率:<1E-7 毫巴·升/秒

測(cè)量單位: 毫巴·升/秒、帕斯卡·米3/秒、大氣壓厘米3、克/年、ppm

較大入口壓力“ULTRA”模式: 0.2 毫巴

較大入口壓力“FINE”模式: 0.9 毫巴

較大入口壓力“GROSS”模式: 18 毫巴

響應(yīng)時(shí)間:<1 秒

數(shù)字輸入/輸出（如果與 IO1000 模塊一起使用）: 10 個(gè)輸入/8 個(gè)輸出

控制輸入: 五個(gè)，較大 35 (PLC 兼容)

離子源: 2 個(gè)釔/銥長(zhǎng)壽命陰極（3 年保修）

線性/對(duì)數(shù)記錄器輸出: 五個(gè)，0-10

串行接口（帶 IO1000/BM1000）: RS232、RS485、現(xiàn)場(chǎng)總線

尺寸（長(zhǎng) x 寬 x 高）: 330 x 240 x 280 毫米 (13 x 9.45 x 11.1 英寸)

環(huán)境溫度范圍: 10 - 45 ℃ (50 - 113 ℉)

真空連接: DN 16 卡箍, DN 25 卡箍

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制冷劑回收機(jī)

VortexDual

新款 VortexDual 將之前 Vortex 儀器經(jīng)過驗(yàn)證的功能與新的擴(kuò)展功能相結(jié)合，為您提供迄今為止速度較快、體積較小且較易于使用的制冷劑回收機(jī)。

VortexDual 與眾不同之處在于，它提供一臺(tái)完整的 1 HP 雙活塞壓縮機(jī)，可在實(shí)際使用條件下實(shí)現(xiàn)較快的恢復(fù)速度。獨(dú)特的微通道冷凝器與超大風(fēng)扇相結(jié)合，有助于降低排氣壓力，從而在較熱的環(huán)境溫度下保持持續(xù)的速度。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000

特征

1 HP 雙活塞壓縮機(jī)，實(shí)現(xiàn)行業(yè)回收率

微通道冷凝器提供出色的熱交換，使 Vortex Dual 能夠在整個(gè)回收周期內(nèi)保持回收率

超大風(fēng)扇提供優(yōu)秀的冷卻效果

簡(jiǎn)單的雙閥操作

用于吸入壓力和罐壓的全尺寸保護(hù)儀表

無需更換軟管即可自行清除

包括過濾器/干燥器

吸音吹塑外殼

三年柜臺(tái)更換保修

規(guī)格

單位包括：肩帶、過濾器/干燥器、6 英尺（1.8 米）可拆卸電源線

兼容制冷劑：回收常用的 CFC、HCFC 和 HFC，包括 R410A、R12、R22、R134a、R32、R404、R407C、R500、R502 和其他 III、IV 和 V 類制冷劑混合物

重量：29.75 磅（13.5 千克）

尺寸（長(zhǎng) x 寬 x 高）：16.7 x 9.2 x 14.2 英寸（42.4 x 23.3 x 36 厘米）

壓縮機(jī)：1 HP 無油、雙閥、交流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

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射頻傳感技術(shù)

Sion 電弧檢測(cè)器

減少晶圓損失、提高產(chǎn)量并增加正常運(yùn)行時(shí)間

等離子處理過程中的電弧會(huì)導(dǎo)致靶材和腔體損壞，進(jìn)而導(dǎo)致基材損壞和顆粒產(chǎn)生。隨著特征尺寸減小，微電子設(shè)備越來越容易受到電弧引起的損壞。電弧可能發(fā)生在任何等離子輔助工藝中，例如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻。INFICON Sion 電弧檢測(cè)器提供了至關(guān)重要的首道防線。Sion 可以快速檢測(cè)微弧并在發(fā)生嚴(yán)重?fù)p壞或廢料之前對(duì)其做出反應(yīng)。該系統(tǒng)可實(shí)時(shí)檢測(cè)和分析等離子微弧事件。

Sion™ RF 探測(cè)器還可通過可靠、準(zhǔn)確地確定腔室清潔終點(diǎn)，讓您在化學(xué)氣相沉積 (CVD) 和蝕刻工藝中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的控制和更高的產(chǎn)量。更準(zhǔn)確的終點(diǎn)意味著更低的晶圓上顆粒水平和更長(zhǎng)的預(yù)防性維護(hù)周期間隔時(shí)間。

Sion 與基于光學(xué)發(fā)射光譜儀 (OES) 的控制器相比具有許多優(yōu)勢(shì)，它與 FabGuard集成和分析系統(tǒng)配合使用，可提高產(chǎn)量并減少由于腔室清潔蝕刻不足或過度而造成的時(shí)間和材料浪費(fèi)。

特征

輕松改裝現(xiàn)有工具組

非侵入式傳感器安裝

高速數(shù)據(jù)采集（250 kHz）

與 FabGuard 集成的數(shù)據(jù)管理

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真空計(jì)和控制器

TPG36x

作為用于過程測(cè)量、控制和數(shù)據(jù)記錄的多功能控制器，TPG361 和 TPG362 有源壓力表控制器旨在與各種有源緊湊型壓力表無縫配合使用。它們可高效管理和記錄從 10 -10到1500 mbar（10 -10到 1125 Torr）的廣泛壓力范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)。

優(yōu)點(diǎn)

易于使用的點(diǎn)陣菜單界面，用于調(diào)整參數(shù)、傳感器或常規(guī)設(shè)置

清晰可見的明亮顯示屏，可遠(yuǎn)程讀取設(shè)備數(shù)據(jù)

條形圖用于可視化設(shè)定點(diǎn)或顯示隨時(shí)間變化的壓力

通過 USB 存儲(chǔ)設(shè)備（正面）實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)記錄和參數(shù)備份功能

固件更新可在線或通過 USB 進(jìn)行

每個(gè)通道有兩個(gè)可自由定義的設(shè)定點(diǎn)，具有可調(diào)滯后

使用 16 位 A/D 轉(zhuǎn)換器進(jìn)行高精度數(shù)據(jù)評(píng)估

自動(dòng)識(shí)別 INFICON 有源緊湊型壓力表

以太網(wǎng)、RS485 和 USB 接口

規(guī)格

類型：TPG361

測(cè)量通道：1

展示：液晶顯示、LED背光

速率1/秒：10

可連接儀表及顯示范圍

CMR (A/D)托：1×10 -3 ×滿量程…1×滿量程

PCR毫巴/托：5×10 -5 … 1500 / 3.75×10 -5 … 1125

TPR毫巴/托：1×10 -4 … 1000 / 7.5×10 -5 … 750

PKR毫巴 / 托：1×10 -9 … 1000 / 7.5×10 -10 … 750

IKR毫巴 / 托： 1×10 -9 … 1×10 -2 / 7.5×10 -10 … 7.5×10 -3

APR毫巴/托：0.1 … 55000 / 7.5×10 -2 … 4.125×10 4

PBR毫巴/托：5×10 -10 … 1000 / 3.75×10 -10 … 750

IMR毫巴/托：2×10 -6 … 1000 / 1.5×10 -6 … 750

測(cè)量單位（可選）：毫巴、托、帕、百帕、微米、伏特

設(shè)定點(diǎn)

設(shè)定點(diǎn)繼電器：2

通道分配：1

調(diào)整范圍：傳感器相關(guān)

滯后：可調(diào)節(jié)的

繼電器觸點(diǎn)：浮動(dòng)轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)

觸點(diǎn)額定值V (ac) / A：30 / 1

觸點(diǎn)額定值V（直流）/ A：60 / 0.5

連接器：D-sub，15 針，母頭

模擬輸出

范圍Ⅴ：0…10.3，傳感器模擬輸出信號(hào)

模擬輸出：1

連接器：Amphenol C91B，7 針，母頭

接口（數(shù)字）：USB 從屬設(shè)備、主設(shè)備、以太網(wǎng)和 RS485

連接器：USB A 型（棒）、USB B 型、FCC68/RJ45、Binder M12

力量

電源電壓（交流）：100 ... 240

頻率Hz：50 ... 60

消耗量：≤45

工作溫度（環(huán)境溫度） °C：+5 ... +50

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真空元件

帶翼形螺母的夾緊環(huán)

INFICON ISO-KF 接頭根據(jù) ISO 2861/1、DIN 28403 和 Pneurop 6606 制造。INFICON的優(yōu)質(zhì)接頭是所有真空和高真空應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)組件。高品質(zhì) INFICON 組件經(jīng)過設(shè)計(jì)和測(cè)試，泄漏率低于 1 x 10 -9 mbar l/s。

優(yōu)點(diǎn)

價(jià)格有競(jìng)爭(zhēng)力

設(shè)計(jì)和測(cè)量嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn)

全球物流

符合 2011/65/EU RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

尺寸 A：45 毫米

尺寸 B：61 毫米

尺寸 C：16 毫米

夾緊環(huán)一半：鋁 380.0

螺栓：鋼鍍鎳

堅(jiān)果：鋅合金鍍鎳

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INFICON產(chǎn)品型號(hào)：

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電容薄膜真空計(jì)系列

CDG025D、CDG045D、CDG100D D1-751-2300、CDG100D D1-751-230B、CDG100D D1-753-2300、CDG100D D1-75E-2300、CDG100D D1-85E-230B、CDG100D D1-85H-230B、CDG100D D1-951-2300、CDG100D D1-951-230B、CDG016D、CDG030D、CDG100D 1Torr、CDG100D 10Torr、CDG100D 100Torr、CDG100D 1000Torr、CDG020D、CDG050D、CDG075D、CDG100D 760Torr

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皮拉尼真空計(jì)系列

PPG550、PPG570、PCG550、PGE050、PGE050 DN16、PGE050 DN25、PEG100、PEG100 DN40、PSG500、PSG502、TPR280、TPR281、TPR300、TPR301、D1-751-2300、PTR90、PTR91、PPG400、PPG401、VSA200

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000、XL3000flex、HLD BR200、LDS3000、HLD6000、HLD6000+、HLD1000+、HLD2000、HLD3000、HLD4000、HLD5000、HLD Compact、HLD Pro、HLD Ultra、HLD Eco、HLD Max、HLD Mini、HLD Smart、HLD Advanced、HLD Industrial

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate、D-TEK 3、D-TEK Select、D-TEK Stratus、Compass、Compass 2、Ref-Check、Ref-Scope、Gas-Mate、Gas-Check、TEK-Pulse、TEK-Sensor、D-TEK Lite、D-TEK Pro、Refrigerant Leak Detector 718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、TEK-Mate 705-202-G1、TEK-Mate 705-207-G1

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+、Transpector MXP、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100、RGA 200、RGA 300、RGA 400、RGA 500、HPR20、HPR30、HPR40、HPR50、HPR60、HPR70、HPR80、HPR90

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鍍膜控制設(shè)備系列

XTC900、SQC310、SQC310M、SQC770、SQC780、XTC/3、XTC/2、IC/5、IC/6、IC/7、Thin Film Controller 757-202、Thin Film Controller 757-207、Deposition Controller 758-202、Deposition Controller 758-207、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、SQC770-A、SQC770-B

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氦吸槍檢漏儀系列

Protec P3000、Protec P3000XL、Ecotec E3000、HLD Pro XL、HLD Smart XL、HLD Industrial XL、HLD Eco XL、HLD Max XL、HLD Mini XL、HLD Compact XL、HLD Advanced XL、HLD Ultra XL、HLD 6000 XL、HLD 5000 XL、HLD 4000 XL、HLD 3000 XL、HLD 2000 XL、HLD 1000+ XL、HLD MD3000 XL、HLD BR200 XL

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/冷媒檢漏儀系列

GAS-Mate、Compass、Compass 2、D-TEK Stratus、D-TEK Select、TEK-Pulse、TEK-Sensor、Gas-Check、Gas-Scope、Ref-Check、Ref-Scope、705-202-G1、705-207-G1、718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、D-TEK Lite、D-TEK Pro、TEK-Mate Pro

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寬量程/復(fù)合真空計(jì)系列

Gemini、PCG550 3PC1-001-0000、PCG550 3PC1-001-0001、PSG55x、PSG50x、PSG550、PSG552、PCG552、BPG551、BPG553、BPG561、BPG563、PCG551、PCG553、PSG501、PSG502、PSG503、VSA200、VSA201、VSA202

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氣體分析與質(zhì)譜系列

Hapsite ER、MicroGC Fusion、MicroGC 3000、MicroGC 4000、3000 Micro GC、4000 Micro GC、HPR20 QMS、HPR30 QMS、HPR40 QMS、HPR50 QMS、HPR60 QMS、HPR70 QMS、HPR80 QMS、HPR90 QMS、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100

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鍍膜控制與配件系列

IC/5、IC/6、IC/7、XTC/3、XTC/2、SQC770-A、SQC770-B、SQC780-A、SQC780-B、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、RQCM 石英晶體微天平、FDC 故障檢測(cè)軟件、真空饋入裝置 VF100、真空饋入裝置 VF200、鋁質(zhì)冷媒加注表組 2路、鋁質(zhì)冷媒加注表組 4路、VGC501、VGC503