Talysurf CCI 9150 超精密三維表面輪廓光學(xué)系列測(cè)量?jī)x
概述
超精密三維表面輪廓光學(xué)系列測(cè)量?jī)x采用相干相關(guān)技術(shù)進(jìn)行非接觸式表面測(cè)量。此類儀器能在僅10秒內(nèi)完成測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)超過百萬的表面測(cè)量,分辨率高達(dá)0.01 nm (0.1 ?)。 *的計(jì)量工具Talysurf CCI9150測(cè)量系統(tǒng)配有超低噪音而且像素達(dá)100萬的標(biāo)準(zhǔn)傳感器。因它大大提高了信噪比,所以該系統(tǒng)能提供*測(cè)量重復(fù)性和的表面形貌的細(xì)節(jié)。 該系統(tǒng)專為滿足zui苛刻的自動(dòng)化生產(chǎn)的要求而設(shè)計(jì)。它非常適合應(yīng)用在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)業(yè),半導(dǎo)體制造業(yè)與MEMS等行業(yè)。 | ![]() |
技術(shù)特點(diǎn)
? 垂直分辨率高達(dá)0.1 ? (0.01 nm)
? 測(cè)量噪音(實(shí)際測(cè)量數(shù)據(jù))低至0.2 ? (0.02 nm)
? 標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)測(cè)量點(diǎn)為百萬
? AlTiC 與DLC 材料補(bǔ)償
? 重復(fù)性RMS 好到0.03 ? (0.003 nm)0.03 ? (0.003 nm) RMS repeatability
亞埃尺度分辨率
Talysurf CCI 9150 對(duì)于三維表面輪廓分析來說是無價(jià)的。該非接觸式三維表面測(cè)量系統(tǒng)在垂直方向全程內(nèi)具備0.1 ?的Z軸分辨率以及低于0.2 ?的測(cè)量噪音等的性能。
應(yīng)用示例






































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