等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）系統(tǒng) PICOPLASMA™

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型號(hào)
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所在地北京市
更新時(shí)間2026-10-12

北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)
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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年，是一家經(jīng)營(yíng)歐美等國*科學(xué)測(cè)試儀器和設(shè)備，并將技術(shù)引入國內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè)。目前，公司在北京、上海、廣州、深圳、合肥、蘇州均設(shè)有辦事處。

公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營(yíng)公司的業(yè)務(wù)（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主營(yíng)儀器包括：分子相互作用分析儀器、機(jī)器視覺儀器、表/界面分析測(cè)試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿景：公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求，以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商、專有技術(shù)提供商，實(shí)現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展。

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等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）系統(tǒng) PICOPLASMA™

等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）系統(tǒng) PICOPLASMA™ 產(chǎn)品詳情

Picosun公司新型PICOPLASMA™等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）系統(tǒng)是基于的自由離子遠(yuǎn)程等離子源設(shè)計(jì)的，其性能已經(jīng)得到世界范圍內(nèi)的諸多研究團(tuán)隊(duì)的肯定。多種激發(fā)源（如氧、氫和氮等）配置能夠拓展ALD的工藝范圍，尤其是低溫沉積金屬和金屬氮化物薄膜。由于遠(yuǎn)程等離子源所產(chǎn)生的等離子體束流中離子的含量低，因此即使是最敏感的襯底，也不會(huì)出現(xiàn)等離子損傷，而等離子束流中含有高濃度的活性粒子，保證很快的生長(zhǎng)速度。

PICOPLASMA™源系統(tǒng)既可以安裝在現(xiàn)有的PICOSUNTM ALD反應(yīng)器上，也可以將整個(gè)PEALD組裝為一個(gè)整體。它具有占地面積小、易維護(hù)和低運(yùn)行成本等優(yōu)點(diǎn)。通過預(yù)真空系統(tǒng)，PICOPLASMA™集成在PICOPLATFORM™集群系統(tǒng)中后可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作。

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