威爾粗糙度輪廓復合機-FDR系列獨立配置專用輪廓、粗糙度兩套分離式傳感器,兼顧微米級幾何輪廓精度與納米級微觀表面檢測能力,適配高精實驗室與嚴苛量產質檢工位。整機采用一體式重型天然大理石床身與高剛性立式伺服立柱,覆蓋全部國標粗糙度、波紋度參數(shù)。
威爾粗糙度輪廓復合機-FDR系列設備搭載快換磁吸測桿機構,雙測頭切換無需重新校準,換型耗時大幅縮短;全流程實時生成輪廓曲線、粗糙度波形圖譜,支持自定義工藝閾值自動判定,搭配端點峰值自動 / 手動濾除功能,剔除啟停干擾數(shù)據(jù)。配套全功能智能分析軟件,一鍵測算臺階、曲率、輪廓度、Ra/Rz 等全參數(shù),報表支持 PDF、Excel 導出,預留工業(yè)通訊接口對接 MES 系統(tǒng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)追溯。
| 型號 | FDR | |
| 測量范圍 | X軸 | 0-300mm |
| X軸分辨率 | 1.2nm | |
| Z軸 | 420、620mm可選 | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm可選 |
| Z1分辨率 | 1.2nm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
| 圓弧 | ±(1+R/12)μm | |
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | |
| 角度 | ±1′ | |
| 直線度 | 0.3um/100mm(截止波長0.8) | |
| 測量速度 | 2mm/s | |
| 粗糙度傳感器 | 量程 | ±620μm |
| 分辨率 | 262144:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
| 重復性 | 1δ≤1nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λc x 2、3、4、5、6、7 | |





























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