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公司介紹主營產(chǎn)品

北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司是一家主要是從事精密儀器設(shè)備，安全控制設(shè)備，計量檢測設(shè)備，科學(xué)研究設(shè)備，3D打印及空間技術(shù)的研發(fā)和銷售的高科技公司，我們將同國內(nèi)單位和高等院校合作，服務(wù)于國內(nèi)和國外廣大客戶，我們將提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)服務(wù)，共同開拓進取。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

五軸重載荷壓電平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺

1、典型應(yīng)用

大口徑鏡頭測量

大型光機系統(tǒng)對準

大幅面干涉測量

鏡組準直與穩(wěn)定

納米壓印

顯微成像/操縱

測量技術(shù)

集成電路檢測

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點

亞納米級定位穩(wěn)定性

納米級閉環(huán)運動分辨力

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

大負載

空間多白由度

各級真空兼容性

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-ST-FA"	單位
運動軸	X,Y,Z, θx,θY, θZ
傳感器類型	電容式位移傳感器
驅(qū)動類型	壓電陶瓷
XY/Z閉環(huán)行程	100/100/40	μm
θx/θY閉環(huán)行程	±150/±150	μrad
X/Y分辨率	<2	nm
Z分辨率	<1	nm
θX/θY分辨率	<20	nrad
X/Y/Z線性度	0.03%
X/Y/Z重復(fù)定位精度	<10	nm
θX/θY重復(fù)定位精度	0.1	μrad
平臺噪聲	<2	nm
最大承載能力	35(另有50/100/150/200可選)	kg
Z諾振頻率@35kg	>100	HZ
θx/θY諧擬頻率@35kg	>100	HZ
帶載最高工作頻率	10	HZ
材料	鋁合金/鈦合金。
自重	12	kg
工作溫度	0-50	℃
尺寸(LxWxH)	φ475x103中空φ360	mm

5、適配控制器

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺

關(guān)鍵詞：伺服系統(tǒng) 位移傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
次聲監(jiān)測站	￥25800	濰坊市	山東恒測環(huán)境科技有限公司	2026-09-11	在線詢價
水質(zhì)硬度儀	￥2180	濰坊市	山東萊恩德智能科技有限公司	2026-09-11	在線詢價
掃地機器人拖地性能測試儀操作簡單	￥810000	上海市	上?；諠詣踊O(shè)備有限公司	2026-09-11	在線詢價
數(shù)顯臺式偏光應(yīng)力儀	￥18500	長治市	山西信偉慧誠科技有限公司	2026-09-11	在線詢價
土壤采樣套筒/耗材庫號：M23413	￥1680	北京市	北京海富達科技有限公司	2026-09-11	在線詢價
數(shù)顯水平往復(fù)式振蕩器	面議	常州市	常州金壇精達儀器制造有限公司	2026-09-10	在線詢價

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