*的高精度輪廓測量儀
| 貨號(hào) | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | ||
| CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 | |||
| 測量 范圍 | X 軸 | 100mm | 200mm | |||||
| Z1 軸(檢出器) | 60mm (水平位置±30mm) | |||||||
| Z2 軸 (立柱) 移動(dòng)范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | ||||
| Z1 軸 (檢出器) | 光柵尺類型 | 弧形 | ||||||
| 分辨力 | CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm | |||||||
| 測針上/ 下運(yùn)作 | 弧形移動(dòng) | |||||||
| 測量方向 | 向前/ 向后 | |||||||
| 測針方向 | CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨(dú)測量) CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據(jù)配重調(diào)整) | |||||||
| 測力 | CV-3200 系列: 30mN (上下可連續(xù)測量) CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換) | |||||||
| 跟蹤角度 | 向上: 77o, 向下: 83o(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針*1) | |||||||
| 驅(qū)動(dòng)部 | 長度基準(zhǔn) | X 軸 | 激光全息光柵尺 | |||||
| Z2 軸 (立柱) | ABS 光柵尺 | |||||||
| 分辨力 | X 軸 | 0.05 µm | ||||||
| Z2 軸 (立柱) | 1 µm | |||||||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | X 軸 | 0 - 80mm/s 外加手動(dòng) | ||||||
| Z2 軸 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手動(dòng) | |||||||
| 測量速度 | X 軸 | 0.02 - 5mm/s | ||||||
| 直線度*2 | X 軸 | 0.8µm/100mm | 2µm/200mm | |||||
| 傾角范圍 | X 軸 | ±45o | ||||||
| 精度 (20oC) | CV-3200 系列 | X 軸 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長度 (mm) 寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長度 (mm) 寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm | ||||
| Z1 軸(檢出器) | ±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm) | |||||||
| CV-4500 系列 | X 軸 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長度 (mm) 寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驅(qū)動(dòng)長度 (mm) 寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm | |||||
| Z1 軸(檢出器) | ±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm) | |||||||
| 外形尺寸 (W×D×H) | 主機(jī)*3 | 756×482x 966mm | 756×482x 1166mm | 1156×482 x1176mm | 766×482 x966mm | 766×482 x1166mm | 1166×482 x1176mm | |
| 重量 | 主機(jī) | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg | |
































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