- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 多路進(jìn)氣方式以及前后雙勻流設(shè)計(jì)保證高質(zhì)量薄膜工藝均勻性
- 高強(qiáng)度石英舟結(jié)構(gòu)和雙層密封反應(yīng)腔室保障低運(yùn)營(yíng)成本,實(shí)現(xiàn)超高設(shè)備稼動(dòng)率
- 超大承載機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)以及專(zhuān)項(xiàng)升級(jí)的抓取機(jī)構(gòu)
- 采用的閉環(huán)壓控系統(tǒng),確保成膜速度和均勻性
- 具備多種鍍膜技術(shù),如多層復(fù)合膜、摻雜多晶硅技術(shù)
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 適用硅片尺寸156mm~230mm
- 裝片量1300~2860(單槽雙插)片 / 管
- 單機(jī)臺(tái)管數(shù)5、6、10、12 管 / 系統(tǒng)
- 工藝種類(lèi)氧化硅、多晶硅、摻磷多晶硅、摻硼多晶硅
- 溫度范圍600~1000℃
- 適用領(lǐng)域新能源光伏




































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