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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴(lài)的者；致力于提升人類(lèi)智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷(xiāo)服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以?xún)r(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

MARSiCE115碳化硅外延系統(tǒng)MARSiCE115SiCEpitaxySystemMARSiCE115主要用于4、6英寸SiC外延工藝

碳化硅外延系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

MARS iCE115 碳化硅外延系統(tǒng)

MARS iCE115 SiC Epitaxy System

MARS iCE115主要用于4、6英寸SiC外延工藝。采用水平熱壁式技術(shù)路線，應(yīng)用的控溫、控壓算法和專(zhuān)業(yè)的進(jìn)氣、混流結(jié)構(gòu)，使得整個(gè)外延工藝過(guò)程中熱場(chǎng)和氣流場(chǎng)均勻穩(wěn)定。工藝指標(biāo)如厚度均勻性、摻雜濃度均勻性、缺陷密度等均達(dá)到了行業(yè)水平。

設(shè)備特點(diǎn)

薄膜和厚膜外延兼容，工藝穩(wěn)定性高
具備多層外延能力
專(zhuān)業(yè)的氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，工藝性能優(yōu)
可靠的壓力控制系統(tǒng)，成膜質(zhì)量均一性好

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
4、6英寸
適用材料
碳化硅
適用工藝
N&P碳化硅外延
適用領(lǐng)域
化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
耐腐蝕PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-10-13	在線詢(xún)價(jià)
剖面多普勒海流計(jì)	￥140000	濰坊市	山東恒測(cè)環(huán)境科技有限公司	2026-10-10	在線詢(xún)價(jià)
平衡流量計(jì)	面議	上海市	上海廣濟(jì)自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢(xún)價(jià)
原裝Flow-mon視流指示器FM.L500 流量傳感器	￥1000	天津市	天津克萊瑞科技有限公司	2026-10-02	在線詢(xún)價(jià)
希而科德國(guó) wieland電纜 46.452.3034.1	￥1258	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2026-09-29	在線詢(xún)價(jià)
RTU 供電遙測(cè)終端一體機(jī)	￥1999	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-29	在線詢(xún)價(jià)

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