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公司介紹主營產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國“智造強(qiáng)國”的夢想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

PolarisSeries8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)PolarisSeries8/12InchPVDSystemPolaris系列PVD系統(tǒng)主要由大氣平臺，真空傳輸平臺，去氣腔室（Degas），預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成，設(shè)備采用ClusterTool結(jié)構(gòu)，可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領(lǐng)域薄膜制備大規(guī)模生產(chǎn)

8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Polaris Series 8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

Polaris Series 8/12 Inch PVD System

Polaris系列PVD系統(tǒng)主要由大氣平臺，真空傳輸平臺，去氣腔室（Degas），預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成，設(shè)備采用Cluster Tool結(jié)構(gòu)，可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領(lǐng)域薄膜制備大規(guī)模生產(chǎn)。Polaris系列PVD為全自動(dòng)大產(chǎn)能設(shè)備，具有反應(yīng)腔自動(dòng)開閉蓋、晶圓自動(dòng)傳輸、工藝去氣、晶圓表面預(yù)清潔、薄膜沉積自動(dòng)化等特點(diǎn)。

設(shè)備特點(diǎn)

專業(yè)的磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率
靈活的腔室配置，8/12英寸兼容
穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸
穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn)，良好的顆粒和應(yīng)力控制能力
優(yōu)化的工藝流程帶來大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運(yùn)營成本

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8/12英寸兼容
適用材料
銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等
適用工藝
晶圓級封裝中的UBM金屬濺射、重布線
適用領(lǐng)域
封裝、硅基微型顯示

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
耐腐蝕PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-10-13	在線詢價(jià)
剖面多普勒海流計(jì)	￥140000	濰坊市	山東恒測環(huán)境科技有限公司	2026-10-10	在線詢價(jià)
平衡流量計(jì)	面議	上海市	上海廣濟(jì)自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
原裝Flow-mon視流指示器FM.L500 流量傳感器	￥1000	天津市	天津克萊瑞科技有限公司	2026-10-02	在線詢價(jià)
希而科德國 wieland電纜 46.452.3034.1	￥1258	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2026-09-29	在線詢價(jià)
RTU 供電遙測終端一體機(jī)	￥1999	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-29	在線詢價(jià)

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