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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

eVictorSeries8英寸物理氣相沉積系統(tǒng)eVictorSeries8InchPVDSystemeVictor系列設(shè)備主要用于8英寸晶圓金屬薄膜沉積工藝

8英寸物理氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

eVictor Series 8英寸物理氣相沉積系統(tǒng)

eVictor Series 8 Inch PVD System

eVictor系列設(shè)備主要用于8英寸晶圓金屬薄膜沉積工藝。該機(jī)臺(tái)為多腔室前后雙平臺(tái)結(jié)構(gòu)，可支持10個(gè)工藝模塊，能夠進(jìn)行全自動(dòng)工藝處理。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成。其中工藝模塊主要用于晶圓表面預(yù)處理和薄膜沉積，傳輸模塊用于把晶圓安全而準(zhǔn)確地送達(dá)到指定工位。

設(shè)備特點(diǎn)

專業(yè)的加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫
高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力
背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，精確的溫度控制能力和良好應(yīng)力控制能力
雙腔傳輸平臺(tái)，可支持10 個(gè)工藝模塊
靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8 英寸
適用材料
鈦、氮化鈦、高溫鋁、鎳、鎳釩、銀
適用工藝
正面電極工藝、背面金屬化工藝
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域、化合物半導(dǎo)體

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
耐腐蝕PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-10-13	在線詢價(jià)
剖面多普勒海流計(jì)	￥140000	濰坊市	山東恒測(cè)環(huán)境科技有限公司	2026-10-10	在線詢價(jià)
平衡流量計(jì)	面議	上海市	上海廣濟(jì)自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
原裝Flow-mon視流指示器FM.L500 流量傳感器	￥1000	天津市	天津克萊瑞科技有限公司	2026-10-02	在線詢價(jià)
希而科德國(guó) wieland電纜 46.452.3034.1	￥1258	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2026-09-29	在線詢價(jià)
RTU 供電遙測(cè)終端一體機(jī)	￥1999	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-29	在線詢價(jià)

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