瑞士Safematic電鏡制樣設備：CCU-010 HV_SP-010高真空離子濺射鍍膜儀

緊湊型、模塊化和智能化
CCU-010 HV_SP-010為一款結構緊湊、全自動型的離子濺射鍍膜儀，使用非常簡便。采用的插入式設計，變換鍍膜頭非常簡單。在鍍膜之前和/或之后，可以進行等離子處理。模塊化設計可輕松避免交叉污染。標配FTM膜厚監(jiān)測裝置。

特點和優(yōu)點
?高性能離子濺射儀，可選等離子處理附件

?的即插即用濺射模塊

?的真空性能和快速抽真空

?標配隔膜泵和渦輪泵；全量程真空測量（皮拉尼，冷陰極真空計）

?結構緊湊、可靠且易于維修

?雙位置膜厚監(jiān)控裝置，可兼容不同尺寸的樣品

?主動冷卻的濺射頭可確保鍍膜質(zhì)量并延長連續(xù)運行時間

巧妙的真空設計
CCU-010 HV系列高真空鍍膜系統(tǒng)，除了用于SEM和EDX的常規(guī)高質(zhì)量濺射鍍膜之外，還涵蓋了的SEM，TEM和薄膜應用。特別選擇和設計的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時間。兩個附加的標準真空法蘭允許連接第三方設備。

LC-006金屬大腔室
LC-006是當前玻璃腔室的擴大版，為鋁制結構。這個可選的金屬腔室可容納6"晶圓或其它大尺寸樣品，而且消除了對內(nèi)爆防護的需求。在CCU-010上選配LC-006, 無需任何修改就可實現(xiàn)更大樣品和晶圓的鍍膜。

SP-010 & SP-011濺射模塊 
兩種濺射模塊一旦插入CCU-010 LV和CCU-010 HV鍍膜主體單元，即可使用。
SP-010和SP-011濺射模塊具有有效的主動冷卻功能，連續(xù)噴涂時間長，非常適合需要較厚膜的應用。 可選多種濺射靶材，適合SEM、FIB和各種薄膜應用。
SP-010濺射裝置的磁控組件旨在優(yōu)化靶材使用。這使其成為電子顯微鏡中精細顆粒貴金屬鍍膜的理想工具。對于極細顆粒尺寸鍍膜，推薦使用渦輪泵抽真空的CCU-010 HV系列鍍膜儀。
SP-011濺射裝置的磁控組件用于大功率濺射和寬范圍材料的鍍膜。對那些比常規(guī)EM應用要求鍍膜速率更高、膜層要求更厚的薄膜應用時，推薦使用該濺射頭。SP-011與CCU-010 HV相結合，可滿足諸如DLC，ITO或鐵磁濺射材料鍍膜等具有挑戰(zhàn)性的應用。

ET-010等離子刻蝕單元 
在對樣品進行鍍膜之前或鍍膜之后，可以對樣品進行等離子刻蝕處理。選用該附件，可以選擇氬氣、其它蝕刻氣體或大氣作為處理氣體。這樣可以在鍍膜前清潔樣品，增加薄膜的附著力；也可在樣品鍍膜后進行等離子處理，從而對膜層表面進行改性。

RC-010手套箱應用的遠程控制軟件
◎基于window的遠程控制軟件
◎創(chuàng)建和調(diào)用配方
◎實時圖表，包含導出功能（Excel、png等）
◎自動連接到設備

可選多種樣品臺
CCU-010提供一個直徑不小于60mm的樣品臺，該樣品臺插入到高度可調(diào)且可傾斜的樣品臺支架上。可選其它專用的旋轉樣品臺、行星臺、載玻片樣品臺等。

CCU-010 HV系列高真空鍍膜儀及其版本
CCU-010 HV系列高真空鍍膜系統(tǒng)專為滿足電鏡樣品制備領域及材料科學薄膜應用的要求而設計。CCU-010 HV 高真空濺射和鍍碳儀采用優(yōu)質(zhì)組件和智能設計，可在超高分辨率應用中提供出色的結果。該設備是全自動抽真空和全自動操作，所有CCU-010 HV系列高真空版本的鍍膜儀，均采用TFT 觸摸屏，配方可編程，保證結果可重復。CCU-010 HV 標配抽真空系統(tǒng)無油，含高性能渦輪泵和前級隔膜泵，均位于內(nèi)部，外部沒有笨重的旋轉泵和真空管路。這是一款尺寸合理的桌上型高真空鍍膜儀。使用無油抽真空系統(tǒng)可將鍍層中的污染或缺陷降至。關閉時，該設備可以保持在真空下，這有效地保護了系統(tǒng)免受灰塵和濕氣的影響，并為高質(zhì)量的鍍層創(chuàng)造了快速抽真空和有利的真空條件。

CCU-010 HV系列高真空鍍膜儀版本有：CCU-010 HV高真空磁控離子濺射鍍膜儀；CCU-010 HV高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀；CCU-010 HV高真空離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀；CCU-010 HV高真空手套箱專用鍍膜儀。

CCU-010 HV系列高真空鍍膜儀的主要亮點在于實現(xiàn)了兩大技術性突破：一是采用自動碳纖維卷繞系統(tǒng)，在每次蒸發(fā)后自動推進碳纖維，在不破真空更換碳源的情況下可進行數(shù)十次的鍍碳運行，比市場上常見的單次、雙次或四次碳纖維鍍膜方式節(jié)省大量的人工操作，既適用于大多數(shù)常規(guī)鍍碳應用，也適用于超薄或超厚碳膜以及溫度敏感樣品的應用。二是將“鍍膜前對樣品表面進行等離子清潔（增加附著力）+鍍膜+鍍膜后對膜層表面進行改性（比如：親水化）或刻蝕”全流程集于同一臺儀器同一次真空下完成，大大提高了鍍膜質(zhì)量，拓寬了應用范圍。另外，瑞士制造，是“精密”和“高品質(zhì)”的代名詞；瑞士原廠貨源，覃思本地服務，客戶買得放心、用得省心！