電子束曝光技術(shù)是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
查看詳情電子束曝光技術(shù)是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
查看詳情摘要 刻蝕設(shè)備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設(shè)備,該設(shè)備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
在線詢價摘要 NMC 508RIE介質(zhì)刻蝕機為電容耦合等離子體干法刻蝕機,適用6/8英寸介質(zhì)層刻蝕工藝,具有高刻蝕速率和均勻性,工藝類型覆蓋前道和后道所有介質(zhì)刻蝕。該機臺為多腔室集群設(shè)備,可全自動并行工藝、易維護、性能穩(wěn)定、產(chǎn)能高、客戶擁有成本低。
在線詢價摘要NMC 508M金屬刻蝕機為高密度等離子體刻蝕機,適用6/8英寸金屬干法刻蝕工藝。具備良好的鋁線形貌控制能力、高刻蝕速率、高刻蝕均勻性、低顆粒/缺陷等性能優(yōu)勢。該機臺為多腔室集群設(shè)備,含金屬腔和去膠腔組合,可全自動并行工藝,PM維護周期長,性能穩(wěn)定,產(chǎn)能高,客戶擁有成...
在線詢價摘要NMC 508CG多晶硅刻蝕機為高密度等離子體刻蝕機,適用6/8英寸多晶硅、硅等干法刻蝕工藝。具備良好的形貌控制能力、高刻蝕速率、高刻蝕均勻性、低顆粒/缺陷等性能優(yōu)勢。該機臺為多腔室集群設(shè)備,可全自動并行工藝,易維護、性能穩(wěn)定、產(chǎn)能高、客戶擁有成本低 。已廣泛量產(chǎn)應(yīng)用...
在線詢價摘要JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為(計算值)2.1nm的電子束,簡便地描畫出線寬在8nm以下(實際可達5nm)的圖形。此外,該光刻系統(tǒng)還實現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度,性能比。利用最細(xì)電子束束斑(實測值直徑≦2.9nm)...
在線詢價摘要 JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
在線詢價摘要 JBX-3200MV是用于制作28nm~22/20nm節(jié)點的掩模版/中間掩模版(mask/reticle)的可變矩形電子束光刻系統(tǒng)。的技術(shù)實現(xiàn)了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50 kV的可變矩形電子束和步進重復(fù)式的光刻系統(tǒng)?
在線詢價摘要 JBX-3050MV 是用于制作45nm~32nm 節(jié)點的掩模版/中間掩模版(mask/reticle)的可變矩形電子束光刻系統(tǒng)。的技術(shù)實現(xiàn)了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50 kV的可變矩形電子束和步進重復(fù)式的光刻系統(tǒng)。
在線詢價摘要 高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過的設(shè)計優(yōu)化,實現(xiàn)更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。
在線詢價摘要PLUTO-WIN是面向科研及企業(yè)研發(fā)客戶使用需求設(shè)計的高性價比ICP等離子體系統(tǒng)。作為一個多功能系統(tǒng),它通過優(yōu)化的系統(tǒng)設(shè)計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小,專業(yè)的機械設(shè)計與優(yōu)化的自動化操作軟件使該設(shè)備操作簡便、安全,且工藝穩(wěn)定重復(fù)...
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