瑞士Safematic電鏡制樣設備：CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀（SP-010+CT-010）

緊湊型、模塊化和智能化
CCU-010為一款結構緊湊、全自動型的離子濺射和/或蒸發(fā)鍍碳設備，使用非常簡便。采用的插入式設計，通過簡單地變換鍍膜頭就可輕松配置為濺射或蒸鍍設備。在鍍膜之前和/或之后，可以進行等離子處理。模塊化設計可輕松避免金屬和碳沉積之間的交叉污染。

特點和優(yōu)點
?高性能離子濺射、蒸發(fā)鍍碳和等離子處理
?專有的碳源設計–多達數(shù)十次碳鍍膜，無需用戶干預
?的即插即用濺射和蒸碳鍍膜模塊
?的真空性能和快速抽真空
?結構緊湊、可靠且易于維修
?雙位置膜厚監(jiān)控裝置，可兼容不同尺寸的樣品
?的濺射頭可確保鍍膜質(zhì)量并延長連續(xù)運行時間

巧妙的真空設計
CCU-010 LV精細真空鍍膜系統(tǒng)專為SEM和EDX的常規(guī)高質(zhì)量濺射鍍膜和鍍碳而設計。模塊化的設計可將低真空單元后續(xù)很輕松地升級為高真空單元。特別選擇和設計的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時間。

SP-010濺射模塊
SP-010濺射模塊連續(xù)鍍膜時間長，非常適合需要較厚膜的應用。 可選多種濺射靶材，適合SEM等導電薄膜應用。
SP-010是電子顯微鏡中精細顆粒貴金屬鍍膜的理想工具。對于極細顆粒尺寸鍍膜，推薦使用渦輪泵抽真空的CCU-010 HV版本。
 

CT-010碳蒸發(fā)模塊
緊湊的插入式碳蒸發(fā)模塊為鍍碳樹立了新，非常適合SEM等需要高質(zhì)量碳膜應用的場合。CT-010可以進行多達數(shù)十次涂層的鍍膜，而無需更換碳源?？蓪囟让舾械臉悠愤M行溫和的蒸鍍薄膜，也可對中厚膜層應用進行高功率閃蒸鍍碳。

GD-010輝光放電模塊
可選的GD-010輝光放電系統(tǒng)進行表面處理，例如，使碳膜親水。

HS-010真空儲存箱
HS-010真空儲存箱可在真空條件下存放備用鍍膜頭、靶材等附件，使它們處于清潔狀態(tài)。

ET-010等離子刻蝕單元
在對樣品進行鍍膜之前或鍍膜之后，可對樣品進行等離子刻蝕處理。

Coating-LAB軟件
使用基于PC的Coating-LAB軟件，可查看包括圖表信息在內(nèi)的處理數(shù)據(jù)。

RC-010手套箱應用的遠程控制軟件
◎基于window的遠程控制軟件
◎創(chuàng)建和調(diào)用配方
 

可選多種樣品臺
CCU-010提供一個直徑不小于60mm的樣品臺，該樣品臺插入到高度可調(diào)且可傾斜的樣品臺支架上。可選其它專用的旋轉(zhuǎn)樣品臺、行星臺、載玻片樣品臺等。

CCU-010 LV普通真空鍍膜儀版本
作為真空鍍膜系統(tǒng)的基礎單元，CCU-010 LV 專為 SEM 和 EDX 的常規(guī)高質(zhì)量濺射和/或碳鍍膜而設計?？蛻艨蛇x擇：

CCU-010 LV磁控離子濺射鍍膜儀；

CCU-010 LV熱蒸發(fā)鍍碳儀；

CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀；

CCU-010 LV手套箱專用鍍膜儀。