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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>專用儀表>其它行業(yè)>電子檢測儀器/半導體檢測儀器>2830 ZT 晶圓分析儀

2830 ZT 晶圓分析儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值4158
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統(tǒng)集成、設備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復旦大學、上海微系統(tǒng)所等半導體相關專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
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2830 ZT 波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對半導體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)而設計,該儀器可為多種晶片(厚達 300 mm)測定層結構、厚度、摻雜度和表面均勻性。
2830 ZT 晶圓分析儀 產(chǎn)品詳情

持續(xù)的性能和速度

● 4 kW SST-mAX X射線管配備了 ZETA 技術,可消除X射線管老化效應。 這種性能可在X射線管整個壽命期間得到保持,同時高靈敏度與 ZETA 技術相結合,確保了在X射線管壽命期間可一直提供快速的分析和簡短的測量時間。ZETA 技術減少了對于漂移校正和重新校準的需求,從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運行時間。


正常運行時間大大提升

● 傳統(tǒng)X射線管會出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā),從而導致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類X射線管的儀器需要定期進行漂移校正以補償下降的強度,尤其是對于輕元素而言。

● 2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問題,從而大大提升了正常運行時間并能隨著時間的推移維持儀器精度。


易于使用

● 2830 ZT 配置 SuperQ 軟件,該軟件包含了 FP Multi —— 一個專門針對多層分析開發(fā)的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒有經(jīng)驗的操作員也能對多層進行全自動的基本參數(shù)分析。

● 該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊,這些模塊能方便研究者和工程師進行靈活操作??梢暂p松切換配方和調(diào)整設備參數(shù)以適應用戶偏好。


FALMO-2G

● FALMO-2G 可輕松集成到任意實驗室或晶片廠中:從簡單的人工托架裝載到全自動。 靈活的設計讓晶片廠經(jīng)理能選擇 FOUP、SMIF 或開放式裝入端口,配有一個或兩個裝入端口配置。各種配置的 FALMO-2G 均受到符合GEM300 的軟件支持。FALMO-2G 的占地空間大大降低,而沒有損失靈活性、功能。

樣品處理

● 直接進樣 100 - 300 毫米的晶片;較小的尺寸可通過特殊適配器處理

● FOUP、SMIF、開放式載盤和手動進樣選項可用

● 高達每小時 25 塊晶片的樣品處理能力


X射線管

● SST-mAX75,超尖銳端窗射線管,SST-mAX50 為選配

● 測量點尺寸 40 和 10mm;可測量其他點尺寸

● ZETA 技術


通道

● 最多 24 個固定通道

● 值 (M) 2 個測角儀

● 高性能硼通道,以獲得高靈敏度和處理量

● 適用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的專用高性能通道,具有高靈敏度和高處理量

● 氬氣 / 甲烷混合氣體

● 流氣探測器

● 封閉式計數(shù)器

● 掃描儀 10° - 100° 2θ

● 帶有 300 µm 鈹窗的閃爍式探測器


安裝

● 符合 SEMI S2 / S8

● 符合 SECS / GEM

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