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公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實驗室分析檢測儀器設備，以實驗室整體建設為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設計院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發(fā)建立、后期運營管理，形成完整的專業(yè)實驗室建設體系，達到一站式服務，為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）、水質在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價

LAMRESEARCH刻蝕系統(tǒng)TCP9400最初設計用于生產(chǎn)多晶硅蝕刻

LAM RESEARCH二手刻蝕系統(tǒng)TCP 9400 產(chǎn)品詳情

LAM RESEARCH刻蝕系統(tǒng)TCP 9400最初設計用于生產(chǎn)多晶硅蝕刻。端點檢測和高選擇性蝕刻工藝允許在非常薄的底層氧化層上停止。LAM RESEARCH刻蝕系統(tǒng)TCP 9400已使用多種氣體重新配置，并已證明對蝕刻一系列全面的材料是有效的。這種廣泛的氣體列表還允許對單個材料的蝕刻特性進行重大裁剪。LAM RESEARCH刻蝕系統(tǒng)TCP 9400還允許定制和自動化每個配方的清潔和調(diào)節(jié)過程，以減少過程交叉污染的可能性。目前，用戶可以蝕刻硅基材料、III-Vs、金屬和有機材料。亞微米特征的蝕刻深度通常為1或2微米。一些材料具有50nm的特征或3微米的深度（不是同時）。

功能特性：

?配置為6“晶片，較小的樣品可安裝在6”載體晶片上

?TCP感應射頻等離子體源-1000瓦

?單獨偏置射頻電源–1000瓦

?所有干式泵送系統(tǒng)

?晶片的靜電夾緊

?溫控卡盤–40℃至80℃

?工藝壓力范圍：5mT至300mT

?通過背面氦氣壓力和冷卻卡盤冷卻晶片

?加熱室

?入口和出口負載鎖室

?磁帶到磁帶

?氣體：HBr、Cl2、O2、SF6、C2F6、He、Ar、CH4、H2

?材料：Si、Si3N4、SiO2、玻璃、III-Vs、金屬、有機物

LAM RESEARCH二手刻蝕系統(tǒng)TCP 9400

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
電子束實驗儀	面議	濟寧市	山東利達信儀器儀表設備有限公司	2021-03-10	在線詢價
刻蝕設備PlasmaPro1000 Astrea 電子束刻蝕系統(tǒng)	面議	嘉興市	上海繪吉電子科技有限公司	2026-03-17	在線詢價
Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統(tǒng) 電子束刻蝕系統(tǒng)	面議	廣州市	廣州領拓貿(mào)易有限公司	2022-09-29	在線詢價
Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-C 電子束刻蝕系統(tǒng)	￥13	上海	上海伯東企業(yè)有限公司	2022-09-29	在線詢價

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