簡單介紹:
小型3靶等離子濺射鍍膜儀是一款緊湊型三旋轉(zhuǎn)靶等離子濺射鍍膜機,帶有觸摸屏數(shù)字控制器和能夠加熱至500℃的基板加熱器??梢詫?-3種金屬材料涂覆到直徑為50mm的樣品上。 有三個濺射靶:金、銀、銅包括在內(nèi)可立即使用。
詳情介紹:
小型3靶等離子濺射鍍膜儀產(chǎn)品性能:
可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。本機采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
技術規(guī)格:
輸入功率 | • 單相220 VAC,50 / 60Hz • 700 W(包括真空泵) • 對于使用110 VAC,我們將為您提供變壓器。 |
輸出功率 | 1600 VDC,40 mA max |
真空室 | • 真空室: 150 mm ID×165mm OD×150 mm H,由高純度石英制成 • 密封法蘭由不銹鋼制成,帶有扁平O形圈 |
帶加熱器的樣品臺 | • 樣品臺尺寸:直徑50 mm. • 濺射距離范圍: 25–40 mm可調(diào) • 具有三個濺射位置的可旋轉(zhuǎn)平臺(由觸摸屏控制) • 內(nèi)置基板加熱器,zui高加熱溫度為500℃ • 觸摸屏集成了精度為+/- 1℃的PID溫度控制器 |
控制面板 | • 6”彩色觸摸屏,PLC集成,操作簡便 • 真空計、濺射電流計和基板溫度控制集成在觸摸屏面板上 • 前面板上的調(diào)節(jié)旋鈕用于進氣和濺射電流控制 • 可通過觸摸屏訪問濺射位置,濺射計時器和過程記錄 |




































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