簡單介紹:
有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室系統(tǒng)預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
詳情介紹:
有機無機蒸發(fā)鍍膜儀設備用途:
用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
技術參數:
真空室 | 二個D型真空室,尺寸均約為Ø450×H750mm; 兩個真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復真空時間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術參數指標相同; | |
真空系統(tǒng)配置 | 日本進口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復合數顯真空測量規(guī)與計、閥門等。 | |
極限壓力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢復真空時間 | 40分鐘可達到1×10-4Pa | |
電動磁力耦合樣品傳遞裝置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進電機驅動,設有遠程手控控制盒,可控制直線前進后退。 |
有機蒸發(fā)源及電源 | 真空室1 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發(fā)源電源4臺。 |
真空室2 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發(fā)源電源3臺。 | |
熱阻蒸發(fā)舟及電源 | 新型蒸發(fā)舟2組(熱阻蒸發(fā)舟); 數字式熱阻蒸發(fā)電源1臺,帶有細調功能(0.1安培);鍍鋁盒式蒸發(fā)舟:2個; 普通金屬蒸發(fā)舟10個;蒸發(fā)源擋板2套; | |




































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