激光干涉儀包括：激光光源，邁克爾遜型或其他形式的干涉光學(xué)系統(tǒng)，光電轉(zhuǎn)換器件為fc的信號接收系統(tǒng)，可逆計數(shù)器、顯示記錄裝置組成的信號處理系統(tǒng)，以及可移動平臺、光電顯微鏡組成的運(yùn)動與對準(zhǔn)系統(tǒng)等部件。

 

    1.光源

 

    激光光源與普通光源相比具有很大優(yōu)勢，激光是靠介質(zhì)內(nèi)的受激輻射向外發(fā)出大量的光F而形成的，具有高單色性、高亮度的特點。良好的單色性可使其相干距離達(dá)到幾十公里，&大增加了可測的長度范圍；極高的亮度使接收器產(chǎn)生較強(qiáng)的光電信號，提高計數(shù)速度，縮S測量時間。穩(wěn)定連續(xù)的激光使干涉儀的測量精度達(dá)到了的高度。現(xiàn)在常用的激光搭根據(jù)其工作物質(zhì)不同可分為固體激光器、氣體激光器、染料激光器和半導(dǎo)體激光器等，在敦光干涉儀中，激光光源一般采用單模氦氖氣體激光器。氦氖激光器以連續(xù)激勵的方式運(yùn)專，輸出波長為632.8nmr的連續(xù)穩(wěn)定的紅光，是相當(dāng)合適的相干光源。

 

    2.干涉光學(xué)系統(tǒng)

 

    邁克爾遜型干涉光學(xué)系統(tǒng)是激光干涉測量系統(tǒng)的核心部分，根據(jù)需求，其分光元件.交吃元件及總體布局有多種形式。分光元件根據(jù)分光原理不同可分為分波振面法、分振幅法^今偏振法，圖9-1所示的邁克爾遜型采用的就是分振幅平行平板分光器。對于反光元件，P面鏡是zui簡單的一種，但在多次反射系統(tǒng)或長光程測量二：•三二其•'：￡元件折射等原因?qū)⒁?amp;較明S的誤差，并且在反射過程中會有大量能量損失；力：冃全5射裏理銷造的反射棱鏡可M很好地克服平面鏡的缺點，是干涉儀中的常用光學(xué)元件。干涉儀光路的總體布局也有多種f擇，在光路設(shè)計時，要根據(jù)不同的特點及應(yīng)用加以合理排布.包一祭都遵循共路原則，使II量光與參考光盡量走同一路徑，減少大氣環(huán)境引起的誤差。同時為了提高儀器的分辨率，

 

    3.運(yùn)動與對準(zhǔn)、信號接收與處理系統(tǒng)

 

    可移動平臺與邁克爾遜干涉儀的測量鏡相連，平臺移動時，光束2的光程發(fā)生變化從而使干涉儀條紋發(fā)生周期性變化。光電顯微鏡是一固定部件，用于對準(zhǔn)待測物體，隨著平臺移動給出起始與終止信號，傳入顯示記錄裝置，幫助處理測量結(jié)果，其瞄準(zhǔn)精度對整個儀器的測量精度有很大影響。