激光干涉儀的發(fā)展
2020-11-14標(biāo)簽：激光干涉儀
一般來說，只要是利用光干涉的原理來測量的儀器都可以稱為干涉儀。光干涉測量可以追溯到17世紀(jì)下半葉，那時的牛頓環(huán)干涉測量就是zui早的干涉儀。但是直到19世紀(jì)波動理論被廣泛接受以后，干涉測量技術(shù)才得到真正發(fā)展。1883年，物理學(xué)家邁克爾遜與莫雷合作設(shè)計制造了*臺用于精密測量的干涉儀——邁克爾遜干涉儀；
1896年，瑞利為測量氬和氦的折射率，用咭氏雙縫干涉原理設(shè)計制作了瑞利干涉儀。在干涉測量中，被測信息是以光學(xué)條紋的形式表征的，相干光光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。
20世紀(jì)中期，激光器的發(fā)明和微電子技術(shù)的發(fā)展為干涉測量技術(shù)提供了新的物質(zhì)基礎(chǔ)，使其進人一個新的發(fā)展時期。激光的高度相干性使它一經(jīng)發(fā)明就成為光波干涉儀的光源，經(jīng)過多年的發(fā)展，激光干涉儀已經(jīng)走出實驗室，成為可以在生產(chǎn)車間使用的測量檢定標(biāo)準(zhǔn)。
常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀、斐索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等；20世紀(jì)70年代以后，具有良好抗環(huán)境干擾能力的外差干涉儀，如雙頻干涉儀、光纖干涉儀也很快發(fā)展起來了。
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SJ6000激光干涉儀直供，工程師現(xiàn)場完成設(shè)備定位，設(shè)備集光、機、電技術(shù)于一體，各項核心參數(shù)均達到行業(yè)水平。 -
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SJ6000機床導(dǎo)軌激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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