RBLD系列氦質(zhì)譜檢漏儀是基于INFICON成套質(zhì)譜模塊開發(fā)而成的工業(yè)用.它繼承了INFICON系列產(chǎn)品具有的精確,穩(wěn)定,高重復(fù)性,zui小維護(hù),低成本和易使用等優(yōu)點,在此基礎(chǔ)上,結(jié)合多年來在真空行業(yè)積累的經(jīng)驗,使其成為高性價比,快速且穩(wěn)定的工業(yè)用。

 

    若檢漏儀需要頻繁地維修或維護(hù)就很難保證它的重復(fù)性。設(shè)計于長期穩(wěn)定運行和結(jié)合智能與自動調(diào)整的RBLD系列可在zui小維護(hù)的需求下提供很高的可靠性。此外，RBLD系列是*保證離子源燈絲至少可使用三年的檢漏儀。INFICON的三年保修期是舉世無雙的，它的意義遠(yuǎn)遠(yuǎn)不只是在燈絲上節(jié)省費用。全面的系統(tǒng)監(jiān)測和優(yōu)質(zhì)的燈絲是高在機(jī)運行時間、低成本、溫度穩(wěn)定性和長期系統(tǒng)穩(wěn)定性的重要因素。

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀適用于大多數(shù)測試系統(tǒng)的配置，RBLD系列在大多數(shù)常用測試條件下都可提供快速和高重復(fù)性的結(jié)果?？膳渲糜诖謾z和精檢模式,在每個模式中寬的靈敏度范圍可使用靈活的測試技術(shù)。卓越的線性特性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進(jìn)行無需再校準(zhǔn)的檢漏。

 

    RBLD系列氦質(zhì)譜檢漏儀具備完善的系統(tǒng)監(jiān)測和本機(jī)診斷功能。儀器精細(xì)地監(jiān)測與控制運行過程中的關(guān)鍵參數(shù)。診斷碼自動提示,提供的診斷碼結(jié)合用戶手冊便于進(jìn)行故障查找。獨特的渦輪分子泵和及其電子學(xué)單元保證zui長的在機(jī)運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪分子泵提供轉(zhuǎn)子位置無比的高穩(wěn)定性和抗震性，大大地延長了渦輪泵的使用壽命。

 

    操作方式：觸摸屏中文界面

 

    外形尺寸：RBLD201：46x87x61/RBLD301：67x32x60（寬x高x深）厘米

 

    質(zhì)譜儀：180°磁偏轉(zhuǎn)

 

    燈絲：2根敷氧化釔的銥陰極

 

    真空連接：DN16KF/DN25KF

 

    電源電壓：AC220V（±10%）頻率：50/60Hz功率：RBLD201：<800W/RBLD301：<500W

 

    zui大進(jìn)氣口壓強(qiáng)：粗檢模式：1500Pa/低靈敏度（純逆向氣流）：100Pa/高靈敏度（順流檢漏）：30Pa

 

    預(yù)熱時間：≤3分鐘

 

    可檢氣體：He2He3He4

 

    zui小可檢漏率：低靈敏度（純逆向氣流）：2.0×10-09Pam3/s；靈敏度（順流檢漏）：2.0×10-11Pam3/s

 

    測量范圍：2.0×10-11Pam3/s-------2.0×10-02Pam3/s

 

    響應(yīng)時間（至訊號的63%）：<1秒