運(yùn)動(dòng)自由度

X

X

驅(qū)動(dòng)控制

1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感

2路驅(qū)動(dòng)

標(biāo)稱行程范圍（0 ~120 V）

±130

±130

µm±10%

Max.行程范圍（0~150V）

±165

±165

µm±10%

傳感器類型

SGS

-

分辨率

9

0.3

nm

線性度

0.1

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.04

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

＜10

＜10

μrad

推/拉力

300/30

300/30

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

1.2

1.2

N/μm±20%

空載諧頻

490

490

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

80

40

ms±20%

承載能力

水平安裝

1

1

kg

立式安裝

0.5

0.5

倒置安裝

1

1

靜電容量

24.6

24.6

μF±10%

工作溫度

-40~+80

-40~+80

℃

抗振設(shè)計(jì)

半正弦

15g， 11ms

15g， 11ms

后峰鋸齒波

20g， 11ms

20g， 11ms

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

950

950

g±5%

釋義

 將PZT平臺(tái)水平放置安裝，運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方，運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。

PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向

 將PZT平臺(tái)立式放置安裝，運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行

PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)承載

將PZT平臺(tái)水平放置，但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方

示意圖

備注

當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí)，需注意出線口