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行業(yè)產(chǎn)品

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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高性能離子減薄儀（Ion Milling）

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)MU400

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地國外

聯(lián)系方式：肖先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-06-02 11:43:39瀏覽次數(shù)：680次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：99條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：肖先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

該設(shè)備用于薄膜處理，性能，代表性用戶如：法國科學(xué)研究中心（CNRS）、意法半導(dǎo)體（ST）

詳細(xì)介紹



系統(tǒng)簡單配置如下： 

Load lock 
真空系統(tǒng): 機(jī)械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵

離子槍: DC / RF 

均勻性：100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2% 

襯底尺寸：4英寸襯底（4-12英寸可選），水冷。 

終端檢測系統(tǒng)：SIMS 或激光干涉儀。 

控制方式：全自動(dòng)電腦控制，半自動(dòng)或手動(dòng)控制可選。 


詳細(xì)信息和資料，請！

關(guān)鍵詞：激光干涉儀
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