北京德華振峽科技有限公司
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更新時間:2026-03-09 08:59:07瀏覽次數(shù):163次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)白光干涉儀采用白光干涉測量傳感器,其垂直分辨率可達0.1nm詳細技術(shù)參數(shù):測量原理:白光干涉測量;測量物鏡10X 20X 50X垂直測量范圍:100um(400um可選)垂直分辨率 0.1nm;X,Y測量范圍:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距離:3.6mm 3.6mm 1.7mm側(cè)向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
白光干涉儀

詳細技術(shù)參數(shù):
測量原理 白光干涉測量
測量物鏡 10X 20X 50X
垂直測量范圍: 100um(400um可選)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y測量范圍: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距離: 3.6mm 3.6mm 1.7mm
側(cè)向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
白光干涉儀
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