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離子微粒吸附設備

  • 離子微粒吸附設備
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌
  • 型號 TAU Series
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時間：2025-09-06 07:12:32瀏覽次數(shù)：90評價

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TAU Series 離子微粒吸附設備
TAU Series Thermal AMC Unit
TAU系列離子微粒吸附設備在面板生產(chǎn)中主要應用于曝光機設備，用于去除空氣中可能會降低曝光機鏡組折射率的有害物質(zhì)。同時具有精確控制溫度和控制濕度的功能。
設備特點
  • 提升產(chǎn)品蝕刻及顯影良率
  • 防止曝光設備鏡面霧化以延長鏡組使用年限
  • 防止鏡片組污染，延長燈具照度與壽命
產(chǎn)品應用
  • 濕度控制精度
    ±5%RH~±3%RH
  • 溫度控制精度
    ±0.5℃~±0.3℃
  • 氣狀分子污染物去除率
    ＞80% in Main AMC
  • 適用領域
    主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠的曝光機鏡面防霧化, 去除吸入曝光機中的AMC 污染物

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