WS-PE100/150 倒片機(jī)中包含1臺(tái)6軸機(jī)械手組件，設(shè)備前端設(shè)有6個(gè)Loadport工位，每3個(gè)對(duì)應(yīng)1個(gè)腔室。設(shè)有2個(gè)Buffer工位，每個(gè)Buffer上可以放19片Wafer對(duì)應(yīng)1個(gè)腔室中的4寸Wafer，2個(gè)冷卻工位分別對(duì)應(yīng)左右2個(gè)腔室。