與傳統(tǒng)的傳感器相比,MEMS壓力芯片傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)等特點。因此,針對體積小和批量化的特點,在使用壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)對其進行校準(zhǔn)時與傳統(tǒng)傳感器有很大區(qū)別:

1.MEMS校準(zhǔn)需要用大容積工裝來同時大批量校準(zhǔn)。
2.MEMS對標(biāo)準(zhǔn)器的精度要求更高。
HSIN6800全自動壓力芯片校驗工裝主要由系統(tǒng)操作臺、mensor壓力控制器、壓力連接端口、軟件、數(shù)據(jù)采集器、電腦、打印機等組成,可提高標(biāo)準(zhǔn)器精度,可以使校準(zhǔn)的冗余量變大,更好的保證被檢產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。
mensor壓力控制器標(biāo)準(zhǔn)器的負載能力增強,可以用更大容積的工裝,可以同時校準(zhǔn)更多的產(chǎn)品,大大提高生產(chǎn)效率。同時高精度的活塞,傳感器及控制器標(biāo)準(zhǔn)器精度高達20ppm。更有效的保證MEMS傳感器的品質(zhì)。
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