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小型PECVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2025-08-10 10:15:55瀏覽次數(shù)：143次

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江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號(hào)：PE1260S用途：小樣品的等離子化學(xué)氣相沉積，石墨烯沉積，半導(dǎo)體鍍膜等規(guī)格：爐管尺寸60*1150 mm特點(diǎn)：觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂

詳細(xì)介紹

該型號(hào)PECVD為整體精簡款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加*。

主要特點(diǎn)：

1. 管內(nèi)真空度自動(dòng)平衡——管內(nèi)真空度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號(hào)PECVD的AIO控制系統(tǒng)會(huì)通過真空泵的自動(dòng)啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達(dá)的均勻性。

2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；

3. 射頻功率的定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間，自動(dòng)運(yùn)行；

4. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動(dòng)移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；

5. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——整機(jī)長度只有1.5米，移動(dòng)方便，避免分散組裝的困擾。

加熱爐部分：
爐膛模式：	開啟式可移動(dòng)爐膛
顯示模式：	7英寸觸摸屏
極限溫度：	1200℃
工作溫度：	≤1150℃
升溫速率：	建議10℃/Min Max：30℃/Min
爐體移動(dòng)：	有，速度可調(diào)
單溫區(qū)長度：	主溫區(qū)長度：200mm（可選配氣體預(yù)熱部分）
爐管規(guī)格：	60*1150 mm
控溫精度：	±1℃
密封方式：	快速法蘭密封
溫度曲線：	30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
預(yù)存曲線：	可預(yù)存15條溫度曲線
超溫報(bào)警：	有
過流保護(hù)：	有
斷偶提示：	有
測(cè)溫元件：	K型熱電偶
爐膛材料：	氧化鋁纖維
外形尺寸：	15006001000MM
信號(hào)頻率：	13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍：	5W-300W
功率穩(wěn)定度：	±0.1%
整機(jī)效率：	>=70%
功率因素：	>=90%
冷卻方式：	強(qiáng)制風(fēng)冷
真空部分：
功率：	500W
抽氣速率：	2Ls
極限真空：	4X10-2Pa
氣路系統(tǒng)：
1～3路質(zhì)量流量計(jì)可選（七星華創(chuàng)）：
準(zhǔn)確度：±1.5%：
重復(fù)精度：±0.2%：
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa：
整機(jī)系統(tǒng)特色：
正壓測(cè)量：	-100Kpa---100Kpa
真空測(cè)量：	10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測(cè)量）
正壓保護(hù)：	支持
壓力恒定：	支持
智能氣路：	支持
氣路定時(shí)：	支持
射頻工作時(shí)間設(shè)定：	支持
移動(dòng)速度調(diào)節(jié)：	支持