江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司
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江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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廠商性質(zhì)代理商
所 在 地無(wú)錫市
聯(lián)系方式：徐燕查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-08-10 09:34:16瀏覽次數(shù)：217次
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型號(hào)：QJ-PE300用途：普通管式爐加裝改造成等離子增強(qiáng)型PECVD設(shè)備規(guī)格：500W特點(diǎn)：高低可調(diào)，適配低成本改造所有管式爐
該設(shè)備專為實(shí)驗(yàn)室已有普通管式爐的用戶開(kāi)發(fā)而成，僅需要用戶提供一下管子高度和直徑即可改造。底部配備可移動(dòng)爐架，方便移動(dòng)和擺放位置。等離子體發(fā)生器的電源功率有100、200、300、500、1000W等功率可選，射頻功率自動(dòng)匹配，僅需一鍵操作即可啟輝。
| 射頻電源功率： | |
| 信號(hào)頻率： | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍： | 5W-1000W可選 |
| 功率穩(wěn)定度： | ±0.1% |
| 整機(jī)效率： | >=70% |
| 功率因數(shù)： | >=90% |
| 冷卻方式： | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 真空部分： | |
| 功率： | 300W |
| 抽氣速率： | 2Ls |
| 極限真空： | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng)： | |
| 3路質(zhì)量流量計(jì)可選： | |
| 準(zhǔn)確度： | ±1.5% |
| 重復(fù)精度： | ±0.2% |
| 工作壓差范圍： | 0.1～0.5 MPa |
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