膜厚范圍

*層（zui上層）

第二層

第三層

小于0.5 µm （20 µin）

+ 1 µin 或更好

+ 2 µin 或更好

+ 3 µin 或更好

大于0.5 µm

+ 5% 或更好

+ 10% 或更好

+ 15% 或更好

含量

*層

第二層

1--99 wt %

+ 3 wt % 或更好

項目名稱

具體描述

X射線激發(fā)系統(tǒng)

·垂直下照式X射線光學系統(tǒng)

·50W（50kV，1.0mA）空冷式微聚焦型鎢W靶X射線管

準直器系統(tǒng)

·單準直器組件；

·多準直器自動控制組件：zui多可同時裝配6種規(guī)格的準直器

·園形、正方形、矩形和多種規(guī)格尺寸準直器任選（紅色為常用的）：

測量斑點尺寸

在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準直器）

樣品室

開槽式樣品室，測量大型平板樣品，如尺寸大于儀器寬度的線路板

項目名稱

具體描述

X射線激發(fā)系統(tǒng)

·垂直下照式X射線光學系統(tǒng)

·50W（50kV，1.0mA）空冷式微聚焦型鎢W靶X射線管

準直器系統(tǒng)

·單準直器組件；

·多準直器自動控制組件：zui多可同時裝配6種規(guī)格的準直器

·園形、正方形、矩形和多種規(guī)格尺寸準直器任選（紅色為常用的）：

測量斑點尺寸

在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準直器）

樣品室

開槽式樣品室，測量大型平板樣品，如尺寸大于儀器寬度的線路板

樣    品    臺

固定樣品臺

·Z軸自動控制，移動行程：43mm （1.7"），XY軸手動控制

·zui大樣品高度33mm

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：407×770×305mm（16×30.3×12"）

加深樣品臺

·Z軸自動控制，移動行程：43mm （1.7"），XY軸手動控制

·zui大樣品高度160mm

·樣品倉有4個位置卡槽，相鄰卡槽垂直間距25.4mm，樣品臺支架可放置在不同位置的卡槽上，可測不同高度的樣品

·樣品倉內部尺寸（寬×深×高）：279×508×152mm（11×20×6”）

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：407×770×400mm（16×30.3×15.7"）

·自定義樣品臺：依據(jù)客戶要求提供更高的樣品臺，滿足高度＞160mm的樣品測量，倉內設置多個位置卡槽，相鄰卡槽垂直間距25.4mm

自動樣品臺

·Z軸自動控制，移動行程：43mm（1.7"）

·XY軸自動控制，樣品臺移動行程：178×178mm（7x7”）

·zui大樣品高度33mm

·樣品臺尺寸（寬×深）：610×560mm（24×22”）

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：610×1037×375mm（24×40.8×14.8"）

·可提供對樣品的自動和編程控制，多點測量

·鼠標控制樣品臺移動，精確地定位樣品測量點

鐳射聚焦

·鐳射用于自動精確定位X射線光管/探測器與樣品到測試距離

·單擊鼠標，Z軸自動掃描

·Z軸自動聚焦到焦距12.7mm，同時將樣品圖像定焦（顯示在屏幕上）

·避免了人為操作誤差

樣品觀察系統(tǒng)

·高分辨率彩色CCD觀察系統(tǒng)，標準光學放大倍數(shù)為30倍

·可選50倍和100倍觀察系統(tǒng)

結果輸出

·測量數(shù)據(jù)報告可直接打印或一鍵導出到PDF文件、Excel文件，為質量管理保留寶貴的原始資料

·測量數(shù)據(jù)報告可包含測量數(shù)據(jù)、測量樣品圖像、各種統(tǒng)計分析圖表、自定義的報告模板（系統(tǒng)預置模板、含用戶信息的自制模板）

計算機系統(tǒng)配置

·IBM計算機

·佳能彩色噴墨打印機

分析應用軟件

·操作系統(tǒng)：Windows XP中文平臺

·分析軟件包：SmartLink FP軟件包

系統(tǒng)安全性

·Z軸保護傳感器

·安全防射線光閘

·樣品室門開閉傳感器

·X射線鎖

·X射線警示燈

·緊急停止按鈕

·前面板安全鈕和后面板安全鎖

·多用戶密碼保護，只向日常操作員設定有限的*，操作界面簡單，功能受限

·主管人員可進行系統(tǒng)維護

·系統(tǒng)自動生成操作員的使用記錄

·開啟“自動鎖定”功能可以防止未*人員使用；測量結束后，超過預設的時*，軟件鎖定并要求輸入密碼

測量自動化功能

鼠標激活測量模式：“Point and Shoot”

多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、重復測量模式

測量位置預覽功能

激光對焦和自動對焦功能

統(tǒng)計計算功能

平均值、標準偏差、相對標準偏差、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動范圍、數(shù)據(jù)編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖

任選軟件：統(tǒng)計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書

數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表、直方圖

數(shù)據(jù)庫存儲功能