微振動檢測激光干涉儀 ZLM900-3D
| |
| | | 激光干涉儀ZLM 900-3D | PXI數(shù)據(jù)處理器激光干涉儀ZLM900-3D | 光學(xué)鏡頭ZLM 900-3D | 世界范圍內(nèi),同類產(chǎn)品中效率zui高的干涉儀。 - 三軸外差式微振動檢測激光干涉儀,用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測量
- 高靈活性調(diào)整模塊,適用于所有數(shù)控機床的參數(shù)的測量
- 動態(tài)測量zui大速度4m/s,實時顯示三個軸的測量數(shù)據(jù)
- 小型反射鏡,帶有磁性固定裝置
- 適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線,與網(wǎng)絡(luò)兼容
- 位移測量標(biāo)準(zhǔn)分辨率為1nm,角度測量分辨率為0.01"
- 使用高精度溫度傳感器,系統(tǒng)精度可達(dá)50nm/m
- 可拓展為6軸測量
- 外部觸發(fā)zui大頻率為40MHz快速調(diào)整也適用于3D
- 所有3軸實時數(shù)據(jù)測量,無延時
- zui多可擴展到6軸
- 小型反射鏡
- 外部zui大觸發(fā)頻率40MHz
|
JENAer測量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀,不僅能夠精確的測量數(shù)控機床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,還能夠測量數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測量和檢測物體的微位移、擺動振動情況、工作臺的運動情況等。更多信息垂詢!
上圖為一個具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng),光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡,3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個部分:
信號光束1用于位移的測量,信號光束2用于俯仰角的測量,信號光束三用于偏擺角的測量。
所有的光束照射到被測物體(3-軸反射鏡固定在被測物體上)后再次反射到干涉鏡上,每個信號光束與反射的光束進(jìn)行干涉,然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里,進(jìn)行信號分析后進(jìn)入到軟件里。
| |
| 三軸測量軟件(位移、偏擺和俯仰角) | 三角關(guān)系的設(shè)定 |
| |
| 測量結(jié)果的統(tǒng)計 | 在位置5開始測量 |
| |
| 位移和角度的*測量 | ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計標(biāo)準(zhǔn) |
由本公司代理,德國耶拿爾