四方儀器 半導(dǎo)體用氣微氧檢測(cè)儀產(chǎn)品概述
四方儀器 半導(dǎo)體用氣微氧檢測(cè)儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù),實(shí)現(xiàn)工業(yè)過(guò)程中ppm級(jí)別氧濃度的測(cè)量,具有測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì),體積小巧,便于在復(fù)雜工況下安裝,同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品特性
測(cè)量精度高,ppm級(jí)別測(cè)量
響應(yīng)速度快,秒級(jí)出數(shù)
產(chǎn)品穩(wěn)定性好,無(wú)需定期校準(zhǔn)
緊湊型模塊化設(shè)計(jì),體積小,安裝方便
人機(jī)交互強(qiáng),顯示內(nèi)容豐富、直觀,操作方便
抗干擾能力強(qiáng),對(duì)其他氣體的交叉敏感性低
報(bào)警功能:當(dāng)氧氣濃度偏離報(bào)警值時(shí)將發(fā)出報(bào)警,報(bào)警值可調(diào)
技術(shù)參數(shù)
| 測(cè)量原理 | 極限電流型氧化鋯法 |
| 量程范圍 | 0~10ppm;0~100ppm;0~1000ppm;自動(dòng)切換 |
| 測(cè)量精度 | ≤±2%F.S. |
| 分辨率 | 0.1ppm |
| 響應(yīng)時(shí)間 | T90≤10s |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 相對(duì)濕度 | 0~95%RH |
| 模擬電流輸出 | 4~20mA |
| 模擬電壓輸出 | 0~1,0~5,0~10 V DC |
| 報(bào)警輸出 | 2路報(bào)警,1路故障報(bào)警 |
| 通訊接口 | RS-232,RS-485 |
| 電源 | 12V DC/220V AC,50Hz |
①半導(dǎo)體、LED等生產(chǎn)過(guò)程中氧濃度控制。
②惰性保護(hù)氣體生產(chǎn)及焊接工藝中氧濃度監(jiān)測(cè)。
③空氣分離加工工藝中氧濃度測(cè)定。
④真空手套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控。




























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