四方儀器 空分微量氧分析儀產(chǎn)品概述
四方儀器 空分微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù),實現(xiàn)工業(yè)過程中ppm級別氧濃度的測量,具有測量精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點,可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設計,體積小巧,便于在復雜工況下安裝,同時配備直觀豐富的用戶界面,提供人機交互體驗。
產(chǎn)品特性
測量精度高,ppm級別測量
響應速度快,秒級出數(shù)
產(chǎn)品穩(wěn)定性好,無需定期校準
緊湊型模塊化設計,體積小,安裝方便
人機交互強,顯示內(nèi)容豐富、直觀,操作方便
抗干擾能力強,對其他氣體的交叉敏感性低
報警功能:當氧氣濃度偏離報警值時將發(fā)出報警,報警值可調(diào)
技術(shù)參數(shù)
| 測量原理 | 極限電流型氧化鋯法 |
| 量程范圍 | 0~10ppm;0~100ppm;0~1000ppm;自動切換 |
| 測量精度 | ≤±2%F.S. |
| 分辨率 | 0.1ppm |
| 響應時間 | T90≤10s |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 相對濕度 | 0~95%RH |
| 模擬電流輸出 | 4~20mA |
| 模擬電壓輸出 | 0~1,0~5,0~10 V DC |
| 報警輸出 | 2路報警,1路故障報警 |
| 通訊接口 | RS-232,RS-485 |
| 電源 | 12V DC/220V AC,50Hz |
①半導體、LED等生產(chǎn)過程中氧濃度控制。
②惰性保護氣體生產(chǎn)及焊接工藝中氧濃度監(jiān)測。
③空氣分離加工工藝中氧濃度測定。
④真空手套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控。




























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