美國(guó)Alicat艾里卡特FusionFlow系列MXM動(dòng)態(tài)氣體混配系統(tǒng)(Gas Blending System),以MixModule控制單元為核心,采用高速動(dòng)態(tài)質(zhì)量流量混合技術(shù),可同時(shí)混合10路氣體(可用純氣或預(yù)混氣),輸出總流量從0至12000SLPM,廣泛用于高校實(shí)驗(yàn)室配氣、材料研究、環(huán)境模擬及工業(yè)在線混合等場(chǎng)景。
【核心參數(shù)】
混合方式:基于Alicat高速質(zhì)量流量控制器的動(dòng)態(tài)質(zhì)量流量混合
通道數(shù)量:MXM-ES-SA/RM 支持2至10路;MXM-ES-TK/MINI 支持2至6路
單通道量程:0-0.5 SCCM 至 0-12000 SLPM(可選任意中間量程)
系統(tǒng)總流量:0-20 SCCM 至 0-120000 SLPM(依控制器配置)
單通道精度:100SCCM-20SLPM:±0.6%讀數(shù) 或 ±0.1%滿量程(取較大者)
50-12000SLPM:±0.8%讀數(shù) 和 ±0.2%滿量程
單通道重復(fù)性(2σ):±(0.2%讀數(shù) + 0.02%滿量程)
控制響應(yīng)時(shí)間:約25ms(依型號(hào)/流量/氣體/背壓)
混合精度:±0.6%目標(biāo)混合比例
人機(jī)界面:高分辨率觸摸屏
可跟蹤氣體種類:支持10種純氣或預(yù)混氣
接液材質(zhì):不銹鋼(控制器流道、內(nèi)部元件、管路及匯流排)
【技術(shù)優(yōu)勢(shì)】
1. 一臺(tái)系統(tǒng)同時(shí)混合可10路氣體,配比精確、響應(yīng)迅速,替代多臺(tái)單臺(tái)流量計(jì)。
2. 同一氣體可接入多個(gè)通道增大流量,或按不同量程配置,兼顧微流量與大流量。
3. 支持純氣或預(yù)混氣輸入,可跟蹤10種氣體,配方靈活。
4. 觸摸屏界面直觀,配比比例、流量與壓力實(shí)時(shí)顯示與設(shè)定。
5. 多種形態(tài)可選(臺(tái)式、機(jī)架式、一體式),適配不同安裝與管路條件。
【采購(gòu)支持】
正規(guī)渠道供貨,貨源穩(wěn)定,可提供選型與技術(shù)支持。支持對(duì)公轉(zhuǎn)賬、開具發(fā)票,適合高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)部門合規(guī)采購(gòu)。混配系統(tǒng)需按氣體種類、通道數(shù)與流量定制,具體配置請(qǐng)聯(lián)系客服確認(rèn)。
【注意事項(xiàng)】
實(shí)際選型需結(jié)合氣體種類、通道數(shù)量、流量范圍與工況壓力溫度確認(rèn)。本頁參數(shù)以原廠規(guī)格為準(zhǔn),具體以出廠資料為準(zhǔn);腐蝕性氣體與部分迷你機(jī)型不可配。





























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