美國(guó)Alicat艾里卡特MS系列數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)(MS-Series Mass Flow Meter),采用層流差壓測(cè)量技術(shù),可實(shí)時(shí)同時(shí)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力與溫度四個(gè)參數(shù),廣泛用于高校實(shí)驗(yàn)室、科研院所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體、光伏等工業(yè)過(guò)程。
【核心參數(shù)】
滿量程范圍:0.5 SCCM 至 5000 SLPM
測(cè)量原理:層流差壓式(內(nèi)部溫壓補(bǔ)償)
質(zhì)量流量精度:±(0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程)
高精度可選:±(0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程)
流量重復(fù)性(2σ):±0.2%滿量程
測(cè)量范圍/量程比:1%至滿量程,100:1
工作壓力范圍:11.5 至 160 PSIA
靜壓:145 psig
工作溫度:-10℃至60℃
響應(yīng)時(shí)間:典型10ms(可調(diào))
預(yù)熱時(shí)間:小于1秒
接液材質(zhì):316L不銹鋼與FFKM密封件
防護(hù)等級(jí):IP40
輸出:模擬與RS-232數(shù)字通訊(可選Modbus RTU等)
【技術(shù)優(yōu)勢(shì)】
1. 一臺(tái)儀器同時(shí)輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度,省去多臺(tái)儀表。
2. 100:1寬量程比,低至滿量程1%仍可精確測(cè)量,適應(yīng)多工況。
3. 內(nèi)部對(duì)壓力與溫度自動(dòng)補(bǔ)償,并按用戶(hù)設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)換算,數(shù)據(jù)穩(wěn)定。
4. 內(nèi)置多氣體選擇功能,可在數(shù)十種常用氣體間切換,無(wú)需更換硬件。
5. 響應(yīng)快、無(wú)可動(dòng)部件、壓損小,適合動(dòng)態(tài)與在線測(cè)量。
【采購(gòu)支持】
正規(guī)渠道供貨,貨源穩(wěn)定,可提供選型與技術(shù)支持。支持對(duì)公轉(zhuǎn)賬、開(kāi)具發(fā)票,適合高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)部門(mén)合規(guī)采購(gòu)。如需其他量程或耐腐蝕型號(hào),可聯(lián)系客服確認(rèn)。
【注意事項(xiàng)】
實(shí)際選型需結(jié)合氣體種類(lèi)、流量范圍與工況壓力溫度確認(rèn)。本頁(yè)參數(shù)以原廠規(guī)格為準(zhǔn),具體以出廠資料為準(zhǔn)。





























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