美國(guó)產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE-50臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
PE-50小型等離子表面處理設(shè)備是專(zhuān)門(mén)針對(duì)于大學(xué)研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)部門(mén)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì),突出移動(dòng)方便,超高功能和性能,操作方便的使用特性。
設(shè)備特點(diǎn):
1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm),可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接,電極面積達(dá)到114mmx152mm,腔體與電極之間的間隙可到51mm,樣品放置空間大。另外,PE-50可以升級(jí)成PE-50XL,處理面積達(dá)到191mmx223mmx90mm。
3.配置靈活可配置不同的頻率及功率:50KHz/13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿(mǎn)足不同用戶(hù)的要求。
4.操作簡(jiǎn)便,一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設(shè)備中,引入一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。































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