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公司介紹主營產(chǎn)品

　　四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(代碼688665)的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，簡稱：四方儀器，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領域。

　　基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表，產(chǎn)品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

　　四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產(chǎn)品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu)秀產(chǎn)品獎榮譽，其核心技術獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產(chǎn)品、工藝”應用計劃示范項目，公司獲得應用計劃示范企業(yè)。

　　四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野，產(chǎn)品已出口多個國家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的國際品牌邁進。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是	檢測原理	NDIR
檢測氣體	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2	量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測限	1ppm

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品詳情

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品型號：Gasboard-2060

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品特性

）使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設計，便于集成

紅外氣體傳感器技術參數(shù)

檢測原理	NDIR
檢測氣體	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司，簡稱：四方儀器，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機排放檢測、科學研究氣體分析等領域。

關鍵詞：氣體傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
多功能環(huán)境負氧離子檢測儀	￥2400	濰坊市	山東恒測環(huán)境科技有限公司	2026-10-10	在線詢價
美國SSi氧探頭熱處理用氧氣檢測傳感設備	￥18888	北京市	北京新捷頓科技有限公司	2026-10-08	在線詢價
懸浮物（污泥濃度）傳感器	面議	上海市	上海博取儀器有限公司	2026-10-07	在線詢價
進口stange氫濃度傳感器SE-O2-200氧氣傳感	￥1000	天津市	天津克萊瑞科技有限公司	2026-09-26	在線詢價
紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝	￥90000	武漢市	四方光電(武漢)儀器有限公司	2026-09-21	在線詢價
山武定位器 AZBIL R4780C220-1	￥9999	福州市	福建科盛共創(chuàng)機電設備有限公司	2026-09-18	在線詢價

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