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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，簡(jiǎn)稱：四方儀器，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測(cè)、過程氣體監(jiān)測(cè)、智慧計(jì)量等領(lǐng)域。

基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì)，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導(dǎo)（TCD）、光散射探測(cè)（LSD）等技術(shù)原理的氣體成分流量?jī)x器儀表，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個(gè)行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)榮譽(yù)，其核心技術(shù)獲得湖北省發(fā)明金獎(jiǎng)。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強(qiáng)基工程重點(diǎn)“產(chǎn)品、工藝”應(yīng)用計(jì)劃示范項(xiàng)目，公司獲得應(yīng)用計(jì)劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長(zhǎng)期的技術(shù)沉淀、嚴(yán)格的質(zhì)量體系及國(guó)際化視野，產(chǎn)品已出口多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應(yīng)用領(lǐng)域的國(guó)際品牌邁進(jìn)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	是	檢測(cè)原理	NDIR
檢測(cè)氣體	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2	量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測(cè)限	1ppm

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品詳情

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品特性

）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度

（3）無(wú)耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計(jì)，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)原理	NDIR
檢測(cè)氣體	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測(cè)限	1ppm

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測(cè)

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司，簡(jiǎn)稱：四方儀器，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于工業(yè)過程監(jiān)測(cè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、汽車/發(fā)動(dòng)機(jī)排放檢測(cè)、科學(xué)研究氣體分析等領(lǐng)域。

關(guān)鍵詞：氣體傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
馬拉松碳王氧探頭熱處理多用爐檢測(cè)傳感器	￥9999	北京市	北京新捷頓科技有限公司	2026-09-14	在線詢價(jià)
氣體流量調(diào)教裝置	面議	長(zhǎng)治市	山西信偉慧誠(chéng)科技有限公司	2026-09-09	在線詢價(jià)
四氟化硅氣體傳感器	￥90000	武漢市	四方光電(武漢)儀器有限公司	2026-09-08	在線詢價(jià)
壁掛式二氧化碳傳感器庫(kù)號(hào)：M154961	￥1550	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-09-07	在線詢價(jià)
水下甲烷傳感器	￥10000	南京市	南京聚海信息科技有限公司	2026-09-01	在線詢價(jià)
英國(guó)TROLEX氣體傳感器	面議	上海市	上海邦之言實(shí)業(yè)有限公司	2026-09-01	在線詢價(jià)

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